发明授权
- 专利标题: 一种用于夹持盘状物的装置
- 专利标题(英): Device for holding plate-like article
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申请号: CN200910087488.5申请日: 2009-06-23
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公开(公告)号: CN101587851B公开(公告)日: 2010-11-03
- 发明人: 张豹 , 王锐廷 , 张晓红 , 白德海
- 申请人: 北京七星华创电子股份有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 专利权人: 北京七星华创电子股份有限公司
- 当前专利权人: 北方华创科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 胡小永
- 主分类号: H01L21/687
- IPC分类号: H01L21/687
摘要:
本发明涉及一种用于夹持盘状物的装置,该装置包括:旋转轴以及与可在旋转轴上旋转,用于固定盘状物的卡盘主体;卡盘主体为至少三个径向分布的辐条状支撑体或为圆盘,其下面设置有卡盘主体挡块,卡盘主体挡块上安装有弹簧;卡盘主体的边缘设置有至少三个夹持元件,用于卡紧盘状物,夹持元件底端设置有夹持元件挡块,夹持元件挡块可插入所述弹簧,挤压弹簧,直至触碰所述卡盘主体挡块;卡盘主体下与每个夹持元件相对位置均设置有驱动部件,用于通过推动或吸引使夹持元件旋转,从而放松或夹紧盘状物。本发明装置结构简单易实现,不易对盘状物造成破坏。
公开/授权文献
- CN101587851A 一种用于夹持盘状物的装置 公开/授权日:2009-11-25
IPC分类: