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公开(公告)号：CN104064500B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201410286965.1
申请日：2014-06-24
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种用于薄片盘状物的清洗装置及方法，属于半导体工艺制造领域，在工艺腔内设置低速收集环和至少一个高速收集环，通过调整高速收集环的高低档位，在工艺腔内划分不同的排液通道，减少清洗介质因交叉污染对硅片清洗工艺带来不利的影响，除此以外，抽气腔保持对工艺腔内的气流进行抽气，抑制化学试剂挥发至工艺腔体的外围，可实现对硅片清洗工艺中的不同清洗介质进行不同的排液处理，同时可实现对不同的工艺过程流场的排气控制，结构简单实用。
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公开(公告)号：CN106799381A
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201611188564.8
申请日：2016-12-21
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
摘要： 本发明公开了一种石英管清洗机的分类回收管线系统及分类回收方法，通过在超纯水工艺槽外设置超纯水工艺外槽及在第一、第二化学工艺槽外设置化学工艺外槽，可分别通过排液管对超纯水工艺外槽及化学工艺外槽内的溢流或外漏废液进行分类回收；并针对超纯水工艺槽及第一、第二化学工艺槽所处的不同工艺状态，通过控制分别设置的第一‑第七气动阀择一开启，并通过对应排液管线对超纯水工艺槽、第一、第二化学工艺槽内不同工艺后状态的废液进行分类回收，从而减少了废液处理过程中的大量浪费，并有效降低了回收系统的负荷，因此节省了回收成本。
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公开(公告)号：CN102945820B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201210406346.2
申请日：2012-10-23
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
IPC分类号： H01L21/687
摘要： 本发明属于半导体晶片工艺技术领域，公开了一种盘状物夹持装置。本发明所提供的盘状物夹持装置通过设置两组夹持元件组，每组夹持元件组分别包括若干个夹持元件，且每个夹持元件均可以其与卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转，并在每个夹持元件相对的位置设置驱动组件，用于推动或吸引夹持元件以其旋转中心旋转，实现夹持或打开晶片，通过控制驱动组件，使得在晶片清洗过程中两组夹持元件组交替夹持、打开晶片，实现对夹持元件与晶片接触地方的清洗，大大提高了晶片的整体清洗质量。
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公开(公告)号：CN102569150B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201210042925.3
申请日：2012-02-23
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/68728
摘要： 本发明公开了一种易清洗的薄壁盘状物夹持装置及清洗方法，该装置由可旋转的卡盘主体及其边缘设置的至少两组夹持元件组成，夹持元件可以以其与卡盘主体的连接点为旋转中心进行摆动，其底端与卡盘主体连接有径向的压缩弹簧；清洗时同组夹持元件的动作一致，两组夹持元件交替打开和卡紧。通过采用同组夹持元件安装对外同极性磁铁，不同组夹持元件安装磁极相反磁铁；卡盘主体上均匀间隔设两组电磁铁。清洗初期两组电磁铁不通电，两组夹持装置处于压缩弹簧弹力作用下的夹紧状态，清洗时通过改变电磁铁中电流方向来使夹持元件交替打开。本发明可以对夹持元件与薄壁盘状物接触的地方进行清洗，从而提高薄壁盘状物的整体清洗质量。
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公开(公告)号：CN102593033B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201210004761.5
申请日：2012-01-09
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/683
摘要： 本发明涉及集成电路技术领域，具体公开了一种凸轮式盘状物夹持装置，包括：凸轮；卡盘，其下方中心与所述凸轮连接；夹持机构，均设置在所述卡盘上，包括L型延长杆，所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触，另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件。本发明能够方便快捷的实现对盘状物的夹持，且本装置结构简单、成本低廉、易于实现。
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公开(公告)号：CN102543818B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210004898.0
申请日：2012-01-09
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种平衡硅片夹持机构，包括：旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘，所述卡盘包括三个夹持臂，其中两个所述夹持臂的端部为固定夹持元件，另一个所述夹持臂的端部为可调夹持件；所述可调夹持件可相对与所述卡盘的连接点摆动，用于夹持硅片，其顶端设置有用于与所述硅片表面接触的夹持元件，其底端设置有重量可调的平衡机构。本平衡硅片夹持机构其结构简单，且无需通过移动零件来夹持住硅片，从而不会在硅片清洗结束后会产生颗粒物。
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公开(公告)号：CN102779772A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210246778.1
申请日：2012-07-16
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
IPC分类号： H01L21/67
摘要： 本发明提供一种晶片背面清洗装置包括晶片夹持部件、旋转轴、晶片清洗部件和固定轴。晶片夹持部件用于夹持待清洗晶片；旋转轴设置在所述晶片夹持部件下方并与所述晶片夹持部件固定连接；晶片清洗部件设置在待清洗晶片下方；固定轴设置在所述晶片清洗部件下方并与所述晶片清洗部件固定连接，且所述固定轴与所述旋转轴同轴；其中，所述固定轴具有第一中空腔，所述第一中空腔内设置有用于传输晶片清洗剂的液体管道；所述晶片清洗部件上设置有液体喷头以及与所述液体喷头连通的液体通路，所述液体通路与所述液体管道连通，用于喷射晶片清洗剂清洗待清洗晶片。实现了对晶片背面的清洗，满足了集成电路晶片清洗工艺的要求。
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公开(公告)号：CN102569155A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210037911.2
申请日：2012-02-17
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
IPC分类号： H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种夹持平面盘状物的装置，涉及半导体技术领域，所述装置包括：圆柱形的旋转主体、两组夹持元件、圆筒形的电磁铁保持架、以及若干电磁铁，所述两组夹持元件通过基座安装于所述旋转主体的侧壁上，所述两组夹持元件通过旋转轴与所述基座连接，在所述夹持元件上设有磁性单元，每组夹持元件中各个夹持元件的磁性单元沿径向的极性相同，所述两组夹持元件之间的磁性单元沿径向的极性相反，在所述基座上与所述夹持元件下部相对处设有张力单元，所述夹持元件能绕旋转轴旋转。本发明通过设置两组夹持元件，在晶片清洗的过程中通过轮换夹持来实现晶片上表面的完全清洗，有效提高了晶片的整体质量。
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公开(公告)号：CN102437079A
公开(公告)日：2012-05-02
申请号：CN201110365937.5
申请日：2011-11-17
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
IPC分类号： H01L21/683
摘要： 本发明公开了一种盘状物夹持装置，涉及半导体晶片工艺技术领域，该装置包括：卡盘主体、凸轮、转轴、至少三个夹持部件，所述转轴安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，用于带动所述卡盘主体旋转，所述凸轮可旋转地安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，所述夹持部件安装在所述卡盘主体上，其非夹持端通过限位挡块顶在所述凸轮的活动面上，所述限位挡块用于在所述凸轮随卡盘主体转动时，沿所述卡盘主体径向固定所述夹持部件，所述活动面用于在所述凸轮相对卡盘主体转动时，使所述夹持部件沿所述卡盘主体径向向外移动。本发明实现了在不损坏被夹持物的情况下对盘状物的夹持；且不限定机械手的夹持位置。
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公开(公告)号：CN101587851B
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200910087488.5
申请日：2009-06-23
申请人： 北京七星华创电子股份有限公司
IPC分类号： H01L21/687
摘要： 本发明涉及一种用于夹持盘状物的装置，该装置包括：旋转轴以及与可在旋转轴上旋转，用于固定盘状物的卡盘主体；卡盘主体为至少三个径向分布的辐条状支撑体或为圆盘，其下面设置有卡盘主体挡块，卡盘主体挡块上安装有弹簧；卡盘主体的边缘设置有至少三个夹持元件，用于卡紧盘状物，夹持元件底端设置有夹持元件挡块，夹持元件挡块可插入所述弹簧，挤压弹簧，直至触碰所述卡盘主体挡块；卡盘主体下与每个夹持元件相对位置均设置有驱动部件，用于通过推动或吸引使夹持元件旋转，从而放松或夹紧盘状物。本发明装置结构简单易实现，不易对盘状物造成破坏。
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