发明公开
CN101600637A 载气系统以及基片载物台到装载埠的联接
无效 - 撤回
- 专利标题： 载气系统以及基片载物台到装载埠的联接
- 专利标题（英）： Carrier gas system and coupling substrate carrier to a loadport
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申请号： CN200780041428.9申请日： 2007-09-14
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公开(公告)号： CN101600637A公开(公告)日： 2009-12-09
- 发明人: F·威廉 , B·丹尼尔
- 申请人： 布鲁克斯自动化公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： 布鲁克斯自动化公司
- 当前专利权人： 布鲁克斯自动化公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 温大鹏
- 优先权： 60/825,704 2006.09.14 US; 11/855,484 2007.09.14 US
- 国际申请： PCT/US2007/019951 2007.09.14
- 国际公布： WO2008/147379 EN 2008.12.04
- 进入国家日期： 2009-05-07
- 主分类号： B65H1/24
- IPC分类号： B65H1/24 ; B65G65/02 ; H01L21/677
摘要：
对基片载物台加压的方法包含对一种腔室加压以及通过从腔室向载物台释放气体在载物台内维持一种压力的方法。这种腔室与载物台以及/或者载物台内的基片晶舟是一个单位构造。