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公开(公告)号:CN101048861B
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:CN200580036308.0
申请日:2005-08-23
申请人: 布鲁克斯自动化公司
IPC分类号: H01L21/673
CPC分类号: H01L21/677 , B65G47/50 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67775 , Y10S414/14
摘要: 提供了基片处理装备。该装备具有壳体、下部口接口和运载器保持站。壳体在其内部具有用于处理基片的处理设备。装载口接口连接到壳体以将基片装载到处理设备内。运载器保持站连接到壳体。运载器保持站适用于在装载口接口处保持至少一个基片传送运载器。运载器保持站设置为提供用于从运载器保持站替换基片传送运载器的快速交换区段。
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公开(公告)号:CN101048861A
公开(公告)日:2007-10-03
申请号:CN200580036308.0
申请日:2005-08-23
申请人: 布鲁克斯自动化公司
IPC分类号: H01L21/673
CPC分类号: H01L21/677 , B65G47/50 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67775 , Y10S414/14
摘要: 提供了基片处理装备。该装备具有壳体、下部口接口和运载器保持站。壳体在其内部具有用于处理基片的处理设备。装载口接口连接到壳体以将基片装载到处理设备内。运载器保持站连接到壳体。运载器保持站适用于在装载口接口处保持至少一个基片传送运载器。运载器保持站设置为提供用于从运载器保持站替换基片传送运载器的快速交换区段。
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