发明授权
- 专利标题: 集成电路芯片及集成电路装置的制造方法
- 专利标题(英): Integrated circuit chip and manufacturing method for integrated circuit device
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申请号: CN200810189537.1申请日: 2008-12-29
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公开(公告)号: CN101630657B公开(公告)日: 2011-04-13
- 发明人: 谢明昌 , 陈鸿霖 , 游秀美 , 蓝锦坤 , 李东隆
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市
- 代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 陈晨
- 优先权: 12/173,121 2008.07.15 US
- 主分类号: H01L21/78
- IPC分类号: H01L21/78 ; H01L21/768 ; H01L27/02 ; H01L23/522 ; H01L23/00
摘要:
本发明提供一种集成电路芯片及集成电路装置的制造方法,上述集成电路芯片,包括一半导体基底,具有一切割侧壁,上述切割侧壁实质上垂直于上述半导体基底,且无金属内连线结构。上述集成电路芯片也包括一电路装置,形成于上述半导体基底之中以及一导电图案,形成于该半导体基底之中,且由上述切割侧壁露出,其中此导电图案包括至少一掺杂硅以及一金属硅化物。本发明的切割道之中,使用掺杂硅图案(扩散区域)作为内连线图案。也即,切割道之中不存在金属内连线,因此对于集成电路装置的整个可靠度、品质以及工艺效率能够有效地提升。
公开/授权文献
- CN101630657A 集成电路芯片及集成电路装置的制造方法 公开/授权日:2010-01-20
IPC分类: