集成电路芯片及集成电路装置的制造方法
摘要:
本发明提供一种集成电路芯片及集成电路装置的制造方法,上述集成电路芯片,包括一半导体基底,具有一切割侧壁,上述切割侧壁实质上垂直于上述半导体基底,且无金属内连线结构。上述集成电路芯片也包括一电路装置,形成于上述半导体基底之中以及一导电图案,形成于该半导体基底之中,且由上述切割侧壁露出,其中此导电图案包括至少一掺杂硅以及一金属硅化物。本发明的切割道之中,使用掺杂硅图案(扩散区域)作为内连线图案。也即,切割道之中不存在金属内连线,因此对于集成电路装置的整个可靠度、品质以及工艺效率能够有效地提升。
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