发明公开
CN101689490A 成膜方法和处理系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 成膜方法和处理系统
- 专利标题(英): Filming method, and treating system
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申请号: CN200880022486.1申请日: 2008-06-26
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公开(公告)号: CN101689490A公开(公告)日: 2010-03-31
- 发明人: 池田太郎 , 若林哲 , 成嶋健索 , 波多野达夫 , 水泽宁 , 横山敦 , 佐久间隆
- 申请人: 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳
- 优先权: 170656/2007 2007.06.28 JP
- 国际申请: PCT/JP2008/061645 2008.06.26
- 国际公布: WO2009/001896 JA 2008.12.31
- 进入国家日期: 2009-12-28
- 主分类号: H01L21/28
- IPC分类号: H01L21/28 ; C23C16/14 ; H01L21/285 ; H01L21/288 ; H01L21/3205 ; H01L23/52
摘要:
本发明提供一种成膜方法和处理系统。该成膜方法在被处理体(W)上形成薄膜,该被处理体(W)在表面形成有具有凹部(6)的绝缘层(4)。该成膜方法依次实施如下的工序:阻挡层形成工序,在包括凹部内的表面的被处理体的表面形成含有Ti的阻挡层(12);种子层形成工序,利用CVD,在阻挡层上形成含有Ru的种子层(16);和辅助种子层形成工序,利用溅射,在种子层上形成含有Cu的辅助种子层(164)。由此,能够在被处理体的整个面上,对线宽或孔径小的凹部或者高深宽比的凹部进行充分的埋入。
公开/授权文献
- CN101689490B 成膜方法和处理系统 公开/授权日:2011-12-21