发明授权
CN101692427B 带有胞间平衡电阻的大栅宽SiCMESFET制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 带有胞间平衡电阻的大栅宽SiCMESFET制作方法
- 专利标题(英): Method of producing large gate width silicon carbide metal semiconductor filed-effect transistor (SiC MESFET) with intercellular balance resistors
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申请号: CN200910075552.8申请日: 2009-09-28
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公开(公告)号: CN101692427B公开(公告)日: 2011-02-02
- 发明人: 默江辉 , 李亮 , 王勇 , 李静强 , 冯震 , 高学邦 , 吴洪江
- 申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 申请人地址: 河北省石家庄市新华区合作路113号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
- 当前专利权人地址: 河北省石家庄市新华区合作路113号
- 代理机构: 石家庄国为知识产权事务所
- 代理商 李荣文
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L21/48 ; H01C17/00 ; H01L21/60
摘要:
一种带有胞间平衡电阻的大栅宽SiC MESFET制作方法,主要在SiC MESFET制作过程中,加入胞间平衡电阻的制作步骤,最终在大栅宽SiC MESFET管芯的输入输出端各设置一个胞间平衡电阻。该胞间平衡电阻的制作方法简单,易于加工,在SiC MESFET制作过程中引入胞间平衡电阻后,可以提高SiC MESFET的成品率,能制造出性能稳定,可靠性高的大栅宽SiC MESFET,从而提高SiCMESFET的输出功率。
公开/授权文献
- CN101692427A 带有胞间平衡电阻的大栅宽SiCMESFET制作方法 公开/授权日:2010-04-07
IPC分类: