带有胞间平衡电阻的大栅宽SiCMESFET制作方法
摘要:
一种带有胞间平衡电阻的大栅宽SiC MESFET制作方法,主要在SiC MESFET制作过程中,加入胞间平衡电阻的制作步骤,最终在大栅宽SiC MESFET管芯的输入输出端各设置一个胞间平衡电阻。该胞间平衡电阻的制作方法简单,易于加工,在SiC MESFET制作过程中引入胞间平衡电阻后,可以提高SiC MESFET的成品率,能制造出性能稳定,可靠性高的大栅宽SiC MESFET,从而提高SiCMESFET的输出功率。
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