发明授权
- 专利标题： 实现拾取和翻转芯片的装置
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申请号： CN200910217905.3申请日： 2009-11-24
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公开(公告)号： CN101710565B公开(公告)日： 2012-02-22
- 发明人: 张德龙 , 吴玉彬 , 宋志 , 常丰吉 , 田学光
- 申请人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 申请人地址： 吉林省长春市东南湖大路3888号
- 专利权人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 当前专利权人地址： 吉林省长春市东南湖大路3888号
- 代理机构： 长春菁华专利商标代理事务所
- 代理商 王淑秋
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/683
摘要：
本发明涉及一种实现拾取和翻转芯片的装置，该装置利用翻转电机通过翻转电机连接套直接驱动吸头装置运动，从而实现芯片翻转，翻转杆内部的通孔与导向杆、吸杆、吸嘴的轴孔共同构成真空通道，外部气路通过气管接头和该真空通道作用于吸嘴端部，来进行芯片吸取。本发明由于采用翻转电机直接驱动吸头装置运动，具有结构简单、体积小、工作可靠、成本低等优点。
公开/授权文献
- CN101710565A 实现拾取和翻转芯片的装置 公开/授权日：2010-05-19
IPC分类:
