可堆叠芯片的制造方法
摘要:
提供了改进的半导体芯片制造的系统和方法。优选的实施例提供了一种用于制造可堆叠芯片的方法,该方法包括:设置第一衬底;以及在第一衬底中形成硅通孔。硅通孔从第一衬底的第一表面延伸出,其中,硅通孔连接至第一衬底的第一表面上的导电层,并且导电层具有平坦表面。导电层通过粘合剂接合至载体衬底。该方法后续步骤为:将第二衬底接合至第一衬底的第二表面;去除载体衬底;去除粘结剂层;以及图样化导电层,以形成接触焊盘。
公开/授权文献
0/0