发明授权
CN101764136B 一种可调节垂直栅SOICMOS器件沟道电流的叉指型结构
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种可调节垂直栅SOICMOS器件沟道电流的叉指型结构
- 专利标题(英): Interdigital structure capable of regulating channel current of vertical gate SOI CMOS devices
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申请号: CN200910200719.9申请日: 2009-12-24
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公开(公告)号: CN101764136B公开(公告)日: 2011-11-16
- 发明人: 程新红 , 何大伟 , 俞跃辉 , 肖德元 , 王中健 , 徐大朋
- 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海新傲科技股份有限公司
- 申请人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海新傲科技股份有限公司
- 当前专利权人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海新傲科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 余明伟; 尹丽云
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12 ; H01L23/528 ; H01L29/423
摘要:
本发明公开了一种可调节垂直栅SOI CMOS器件沟道电流的叉指型结构,其由多个垂直栅SOI CMOS器件并列排布而成,其中相邻的垂直栅SOI CMOS器件的PMOS区与PMOS区相邻,NMOS区与NMOS区相邻;所有垂直栅SOICMOS器件的源区位于同一侧,漏区位于另一侧;所有垂直栅SOI CMOS器件的栅极从侧面引出形成叉指栅极。相邻的PMOS区共用一个体电极,相邻的NMOS区共用一个体电极,所有体电极并行相连形成叉指体电极。所有源区引出的源极并行连接形成叉指源极;所有漏区引出的漏极并行连接形成叉指漏极。本发明将多个CMOS器件的栅极通过叉指型拓扑结构并联起来,相当于提高了垂直栅SOI CMOS器件的等效栅宽,可以起到调节其沟道电流的目的。
公开/授权文献
- CN101764136A 一种可调节垂直栅SOICMOS器件沟道电流的叉指型结构 公开/授权日:2010-06-30
IPC分类: