发明授权
- 专利标题: TFT-LCD阵列基板及其制造方法
- 专利标题(英): Thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD) array substrate and manufacturing method thereof
-
申请号: CN200810241197.2申请日: 2008-12-26
-
公开(公告)号: CN101770121B公开(公告)日: 2012-11-21
- 发明人: 刘翔
- 申请人: 北京京东方光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市经济技术开发区西环中路8号
- 专利权人: 北京京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,北京京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市经济技术开发区西环中路8号
- 代理机构: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 刘芳
- 主分类号: G02F1/1362
- IPC分类号: G02F1/1362 ; H01L27/12 ; H01L21/84
摘要:
本发明涉及一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法,其中方法包括:步骤1、在基板上沉积一层栅金属薄膜,通过第一次构图工艺形成栅电极和栅线的图形;步骤2、在完成步骤1的基板上沉积栅绝缘薄膜、半导体薄膜和阻挡薄膜,通过第二次构图工艺形成半导体层和阻挡层的图形,该阻挡层用于阻止半导体层被刻蚀;步骤3、在完成步骤2的基板上沉积欧姆接触薄膜、透明导电薄膜、源漏金属薄膜和钝化薄膜,通过第三次构图工艺形成源电极、漏电极、TFT沟道、数据线、像素电极和钝化层的图形。本发明采用三次构图工艺,通过在半导体层和欧姆接触层之间夹设阻挡层,能够减小半导体层的厚度,减小TFT的关态电流,提高TFT的性能。
公开/授权文献
- CN101770121A TFT-LCD阵列基板及其制造方法 公开/授权日:2010-07-07
IPC分类: