TFT-LCD阵列基板及其制造方法
摘要:
本发明涉及一种TFT-LCD阵列基板及其制造方法,其中方法包括:步骤1、在基板上沉积一层栅金属薄膜,通过第一次构图工艺形成栅电极和栅线的图形;步骤2、在完成步骤1的基板上沉积栅绝缘薄膜、半导体薄膜和阻挡薄膜,通过第二次构图工艺形成半导体层和阻挡层的图形,该阻挡层用于阻止半导体层被刻蚀;步骤3、在完成步骤2的基板上沉积欧姆接触薄膜、透明导电薄膜、源漏金属薄膜和钝化薄膜,通过第三次构图工艺形成源电极、漏电极、TFT沟道、数据线、像素电极和钝化层的图形。本发明采用三次构图工艺,通过在半导体层和欧姆接触层之间夹设阻挡层,能够减小半导体层的厚度,减小TFT的关态电流,提高TFT的性能。
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