磁控溅射阴极、磁控溅射设备及制造磁性器件的方法
摘要:
本发明提供了即使当靶材是磁性体并且厚和/或强磁性体被用作靶材时也能够产生足以在靶材面上形成放电所需的磁性隧道的泄漏磁场的磁控溅射阴极、磁控溅射设备及制造磁性器件的方法。本发明的磁控溅射阴极包括靶材,该靶材具有:第二环状槽,其被设置于靶材的溅射面;第三环状突起,其被设置于靶材的非溅射面;第四环状槽,其在非溅射面上被设置于第三环状突起的外侧;第四环状突起,其在非溅射面上被设置于第四环状槽的外侧。此外,磁控溅射阴极包括非溅射面侧的第一磁体和具有与第一磁体的极性不同的极性的第二磁体(6)。
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