公开(公告)号：CN115443203B

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202280003691.3

申请日：2022-02-07

申请人： 佳能安内华股份有限公司 ,  国立大学法人东北大学

发明人： 斋藤孝之 ,  森脇崇行 ,  岛津武仁 ,  鱼本幸

IPC分类号： B23K20/00 ,  H01L21/02

摘要： 将作为接合对象物的基体经由形成于该基体的接合面的由氧化物构成的接合膜在大气中接合。将接合膜形成于具有成为接合面的平滑面的2个基体的各自的所述平滑面，所述接合膜是通过真空成膜而形成的、至少表面被氧化的金属或半导体的薄膜，将该接合膜暴露于具有水分的空间，使该接合膜的表面亲水化，并且以该接合膜的表面彼此接触的方式使2个所述基体在大气中重叠。由此，在接合界面产生化学结合，将2个基体在大气中接合。通过对接合的基体根据需要在例如400℃以下的温度下加热，能够提高接合强度γ。该接合法也能够应用于用于器件的三维集成化的混合接合。

公开(公告)号：CN115633506A

公开(公告)日：2023-01-20

申请号：CN202210746286.2

申请日：2022-06-28

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 恒川孝二

IPC分类号： H10B53/00 ,  G11C11/22

摘要： 本公开涉及堆叠结构、存储器装置和制造堆叠结构的方法。该堆叠结构包括铁电层和连接到铁电层的隧道势垒层。铁电层的主成分是氮化铝，隧道势垒层的主成分是氧化镁。

公开(公告)号：CN112912987B

公开(公告)日：2022-05-31

申请号：CN201880098949.6

申请日：2018-10-22

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 辻野和哉 ,  安藤洋一

IPC分类号： H01J35/08 ,  H01J35/14

摘要： 公开的X射线发生装置具有：阴极，其包括生成电子射线的电子源；阳极，其包括透射型靶，该透射型靶能够使因电子射线的碰撞而生成的X射线在电子射线的入射方向上透过；以及聚焦电极，其使电子射线朝向透射型靶聚焦，其中，透射型靶具有厚度局部较小的第一区域，所述X射线发生装置还具有切换单元，该切换单元构成为能够使电子射线向透射型靶入射的入射位置在所一区域与第二区域之间进行切换，第二区域具有比第一区域的厚度大的厚度。

公开(公告)号：CN111295256B

公开(公告)日：2022-05-10

申请号：CN201780096472.3

申请日：2017-11-06

申请人： 佳能安内华股份有限公司 ,  佳能株式会社

发明人： 池本学 ,  德永博之

IPC分类号： B22F3/00 ,  B01J20/02 ,  B01J20/28 ,  B01J20/30 ,  C22C1/00 ,  C23C14/06 ,  C23C14/08 ,  C23C14/34

摘要： 一种结构体，其中各自包含吸氢金属元素的多个粒子被配置在固定构件中，使得多个粒子相互隔离。所述多个粒子各自的表面的全体被所述固定构件包围。

公开(公告)号：CN114286930A

公开(公告)日：2022-04-05

申请号：CN201980099850.2

申请日：2019-09-13

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 川崎洋補

IPC分类号： G01L21/34

摘要： 电离真空计包括棒状的阳极和包括具有所述阳极通过的贯通孔的阴极板的阴极。在沿着所述阳极的轴向的剖面中的所述贯通孔的形状包括夹在2个凸部之间的凹部。

公开(公告)号：CN111328469B

公开(公告)日：2022-03-25

申请号：CN201780096699.8

申请日：2017-11-13

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 药师神弘士 ,  渡边勇人 ,  芝本雅弘

IPC分类号： H05H1/46 ,  H05H1/48 ,  C23C14/24 ,  C23C14/32

摘要： 提供有利于均匀地处理基板的技术。等离子体处理装置具备：处理室，用于对基板进行处理；等离子体产生部，用于产生等离子体；输送部，其中在上述等离子体产生部中产生的等离子体被输送至上述处理室；及扫描磁场产生部，产生使上述等离子体偏转的磁场以通过上述等离子体扫描上述基板，上述扫描磁场产生部的构成使得上述等离子体的轨迹的中心是能够调整的。

公开(公告)号：CN114008733A

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN201980097775.6

申请日：2019-06-24

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 辻野和哉

IPC分类号： H01J35/14 ,  H01J35/08

摘要： X射线产生装置设置有：电子枪；以及阳极，所述阳极具有靶材，所述靶材当与来自所述电子枪的电子碰撞时产生X射线。所述电子枪包括具有电子发射部的阴极、引出从所述电子发射部发射的电子的引出电极、和对由所述引出电极引出的电子进行聚焦的聚焦电极。所述聚焦电极包括具有管形状的第1部分和配置于所述第1部分的内侧的第2部分。所述第1部分具有与所述阳极面对的前端部，所述第2部分具有与所述阳极相对的相对表面，所述相对表面具有使来自所述电子发射部的电子通过的电子通过孔。所述前端部与所述阳极之间的距离比所述相对表面与所述阳极之间的距离小。所述前端部的热导率比所述第2部分的热导率低。

公开(公告)号：CN110158038B

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN201910483671.0

申请日：2014-11-14

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 厚见正浩

IPC分类号： C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  G11B5/84

摘要： 公开了沉积装置。本发明提供一种沉积装置，用于在基板上形成膜，特征在于包含：被配置为使靶材绕旋转轴旋转的旋转部；被配置为产生电弧放电的撞击件；被配置为驱动撞击件以在产生电弧放电时获得靶材的旋转轴周围的侧表面与撞击件彼此接近的接近状态的驱动部，以及被配置为控制通过旋转部的靶材的旋转以改变接近状态下靶材的面向撞击件的侧表面的面向位置的控制部。

公开(公告)号：CN113632195A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN201980094864.5

申请日：2019-04-15

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 川濑顺也

IPC分类号： H01J35/16

摘要： X射线产生装置包括：X射线产生管，包括阴极和阳极，该阴极具有在第一方向上发射电子的电子发射部，该阳极具有由于从电子发射部发射的电子与靶材碰撞而产生X射线的靶材；电压供应部，经由导电线向X射线产生管供应电压；储存容器，包括第一部分、第二部分以及连接部，第一部分形成储存电压供应部的第一空间，第二部分形成储存X射线产生管的第二空间，同时所述第二空间在与第一方向正交的第二方向上的宽度比第一空间的宽度小，连接部将第一部分和第二部分相互连接使得第一空间与第二空间连通；以及绝缘液体，填充第一空间与第二空间连通的内部空间，其中，连接部包括朝着内部空间突出的凸部，在第一方向上阴极被布置在凸部与阳极之间，并且绝缘构件被布置为围绕导电线的至少一部分并且阻断导电线与凸部之间的至少最短路径。

公开(公告)号：CN113316833A

公开(公告)日：2021-08-27

申请号：CN201880100506.6

申请日：2018-12-28

申请人： 佳能安内华股份有限公司

发明人： 辻野和哉 ,  野村一郎

IPC分类号： H01J1/46 ,  H01J35/14

摘要： 电子枪可以设置有具有电子发射部的阴极、引出从所述电子发射部发射的电子的引出电极以及使由所述引出电极引出的电子聚焦的聚焦电极。所述聚焦电极包括具有管形状的外侧电极以及被配置在所述外侧电极的内侧的内侧电极，所述内侧电极定义柱状的第1空间，并且具有在所述阴极侧的第1表面以及与所述第1表面相对的第2表面，所述外侧电极的内侧表面和所述内侧电极的所述第2表面定义第2空间。所述内侧电极具有使电子通过的电子通过孔以及使所述第1空间与所述第2空间连通的连通部。