- 专利标题: 基于曲线形阵列波导光栅的无热AWG制作方法
- 专利标题(英): Heatless AWG preparation method based on curved array waveguide grating
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申请号: CN200910245099.0申请日: 2009-12-25
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公开(公告)号: CN101840030B公开(公告)日: 2012-03-21
- 发明人: 赵秀丽 , 祝业盛 , 马卫东 , 丁丽 , 凌九红 , 陈征
- 申请人: 武汉光迅科技股份有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- 专利权人: 武汉光迅科技股份有限公司
- 当前专利权人: 武汉光迅科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区邮科院路88号
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 温国林
- 主分类号: G02B6/34
- IPC分类号: G02B6/34
摘要:
一种基于曲线形阵列波导光栅的无热AWG制作方法,步骤如下:采用至少一个输入波导、输入平板波导、阵列波导、输出平板波导和N个输出波导组成曲线形AWG芯片;将曲线形AWG芯片粘贴并固化在夹层上;进行与曲线形AWG芯片的输入波导和输出波导的耦合调试并固化;分割第一AWG芯片和第二AWG芯片两部分;将第二AWG芯片与基板粘固;使第一AWG芯片与第二AWG芯片沿分割线的方向平行设置;调节曲线形AWG芯片的中心波长为ITUT波长,将补偿杆分别固化在第一AWG芯片和基板上;将制作的无热AWG从夹具上取下制作完成。采用本发明方法制作的温度补偿结构,能够克服芯片形变带来的光学性能变化,提高器件的性能稳定性;结构简单,操作方便,适合工业生产。
公开/授权文献
- CN101840030A 基于曲线形阵列波导光栅的无热AWG制作方法 公开/授权日:2010-09-22