陶瓷及其制造方法、以及电介质电容器、半导体装置及元件
摘要:
一种陶瓷的制造方法,包括:形成一个具有氧八面体结构的复合氧化物材料与对该复合氧化物材料具有触媒作用的常介电体材料混合存在的膜;之后对该膜进行热处理,所述常介电体材料,由构成元素中含有Si的层状触媒物质,以及构成元素中含有Si及Ge的层状触媒物质构成。所述热处理包括烧结及退火,优选至少该退火在含有氧及臭氧中的一种气体的加压环境下进行。陶瓷是具有氧八面体结构的复合氧化物,该复合氧化物中含有Si及Ge。
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