温度测定装置和温度测定方法
摘要:
本发明提供一种温度测定装置和温度测定方法。本发明构成如下:以经由CCD照相机(4)和IO板(5)被输出到运算处理装置(6)的图像数据为基础,以个数计算部(7)计算在形成有金属薄膜的温度测定构件1受到的热过程下致使在金属薄膜上生成的突起的形状的面密度,根据该面密度和预先收纳在存储器(8)中的最高到达温度与面密度相关的数据,由温度计算部(9)求得被测温对象的最高到达温度。另外,本发明构成如下:使用在基板上成膜铝薄膜而成的温度测定构件,测定伴随该温度测定无件受到的温度过程而在薄膜表面所形成的突起引起的薄膜的反射率的降低量,基于此反射率的降低量,推定温度过程之中最高到达温度。
公开/授权文献
0/0