发明授权
CN101872173B 半导体产品级别控制的方法与系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 半导体产品级别控制的方法与系统
- 专利标题(英): Method and system for semiconductor product level control
-
申请号: CN200910167455.1申请日: 2009-08-25
-
公开(公告)号: CN101872173B公开(公告)日: 2013-02-06
- 发明人: 巫尚霖 , 施志昇 , 曾衍迪 , 王若飞 , 牟忠一 , 关欣
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市
- 代理机构: 北京德恒律师事务所
- 代理商 陆鑫; 高雪琴
- 优先权: 12/427,154 2009.04.21 US
- 主分类号: G05B19/04
- IPC分类号: G05B19/04 ; H01L21/00
摘要:
本发明揭示一种半导体产品级别控制的方法,应用于制造集成电路元件,其中,产品级别与集成电路所呈现一种或多种特性有关,半导体产品级别控制的方法包括:对多个晶片批次,执行多个工艺;决定所需产品级别数量、现有产品级别数量与生产中产品级别数量;将已决定的所需产品级别数量,与已决定的现有产品级别数量以及已决定的预估生产中产品级别数量作比较;以及若已决定的现有产品级别数量与已决定的预估生产中产品级别数量无法满足已决定的所需产品级别数量,则修正晶片批次的工艺中的至少一者。本发明的方法能有效控制产品级别的数量并能动态地迎合客户的产品级别需求。
公开/授权文献
- CN101872173A 半导体产品级别控制的方法与系统 公开/授权日:2010-10-27
IPC分类: