发明授权
- 专利标题： 离子源、系统和方法
- 专利标题（英）： Ion sources, systems and methods
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申请号： CN201010151355.2申请日： 2006-11-15
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公开(公告)号： CN101882551B公开(公告)日： 2013-10-02
- 发明人: 比利·W·沃德 , 约翰·A·诺特四世 , 路易斯·S·法卡斯三世 , 兰德尔·G·珀西瓦尔 , 雷蒙德·希尔
- 申请人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 申请人地址： 美国纽约州
- 专利权人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 当前专利权人： 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国纽约州
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 邱军
- 优先权： 60/741,956 2005.12.02 US; 11/385,215 2006.03.20 US; 11/385,136 2006.03.20 US; 60/784,390 2006.03.20 US; 60/784,388 2006.03.20 US; 60/784,331 2006.03.20 US; 60/784,500 2006.03.20 US; 60/795,806 2006.04.28 US; 60/799,203 2006.05.09 US
- 分案原申请号： 200680051529X 2006.11.15
- 主分类号： H01J37/08
- IPC分类号： H01J37/08 ; H01J37/252 ; H01J37/28 ; H01J37/305 ; H01J37/317
摘要：
公开了离子源、系统和方法。
公开/授权文献
- CN101882551A 离子源、系统和方法 公开/授权日：2010-11-10