利索-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册
发明公开
CN101903761A 检测系统和方法 有权

检测系统和方法
摘要：
一种检测系统，包括：辐射源(24)，用于提供输入辐射；辐射聚焦布置(26)，用于提供该输入辐射到样品(20)的分析区域；辐射收集(26)布置，用于收集由于该输入辐射与该样品的相互作用引起的、来自该样品的分析区域的输出辐射；辐射检测器(28)，用于检测所收集的输出辐射；操作装置(40，50，60)，用于在第一检测模式和第二检测模式中操作该检测设备，其中在该第一检测模式中，该分析区域具有第一尺寸和/或形状，其中在该第二检测模式中，该分析区域具有与该第一尺寸和/或形状不同的第二尺寸和/或形状。
摘要（英）：

A detection system, comprising: a radiation source (24) for providing input radiation; a radiation focusing arrangement (26) for providing the input radiation to an analysis region of a sample (20); - a radiation collection (26) arrangement for collecting output radiation from the analysis region of the sample resulting from interaction of the input radiation with the sample; a radiation detector (28) for detecting the collected output radiation; operating means (40,50,60) for operating the detection device in a first detection mode and a second detection mode, wherein in the first detection mode the analysis has a first size and/or shape and wherein in the second detection mode the analysis region has a second size and/or shape that is different from the first size and/or shape.

公开/授权文献
0/0