检测系统和方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101903761B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN200880121688.1

    申请日:2008-12-10

    CPC classification number: G01N21/6456

    Abstract: 一种检测系统,包括:辐射源(24),用于提供输入辐射;辐射聚焦布置(26),用于提供该输入辐射到样品(20)的分析区域;辐射收集(26)布置,用于收集由于该输入辐射与该样品的相互作用引起的、来自该样品的分析区域的输出辐射;辐射检测器(28),用于检测所收集的输出辐射;操作装置(40,50,60),用于在第一检测模式和第二检测模式中操作该检测设备,其中在该第一检测模式中,该分析区域具有第一尺寸和/或形状,其中在该第二检测模式中,该分析区域具有与该第一尺寸和/或形状不同的第二尺寸和/或形状。

    检测系统和方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101903761A

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200880121688.1

    申请日:2008-12-10

    CPC classification number: G01N21/6456

    Abstract: 一种检测系统,包括:辐射源(24),用于提供输入辐射;辐射聚焦布置(26),用于提供该输入辐射到样品(20)的分析区域;辐射收集(26)布置,用于收集由于该输入辐射与该样品的相互作用引起的、来自该样品的分析区域的输出辐射;辐射检测器(28),用于检测所收集的输出辐射;操作装置(40,50,60),用于在第一检测模式和第二检测模式中操作该检测设备,其中在该第一检测模式中,该分析区域具有第一尺寸和/或形状,其中在该第二检测模式中,该分析区域具有与该第一尺寸和/或形状不同的第二尺寸和/或形状。

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