用于利用线束照射样本的光学照射装置

    公开(公告)号:CN101868752A

    公开(公告)日:2010-10-20

    申请号:CN200880117273.7

    申请日:2008-11-19

    IPC分类号: G02B27/09 G11B7/125

    摘要: 一种用于利用线束照射样本的光学系统包括:光源(24);光束定形器(30),其用于将光源发射的光束转换成中间像散像;以及成像系统,其用于将该中间像散像转换成最终的像散像并且用于照射样本。光束定形器(30)在侧向平面内以及在横向平面内提供不同的非单位放大率,并且包括用于实现角放大和角缩小的环形入射表面和具有有限曲率半径的环形出射表面。本发明允许结合成像系统使用通常用来使光输出具有更圆的截面的现有光束定形装置,以便提供对样本的线束照射。

    检测系统和方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101903761B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN200880121688.1

    申请日:2008-12-10

    IPC分类号: G01N21/64

    CPC分类号: G01N21/6456

    摘要: 一种检测系统,包括:辐射源(24),用于提供输入辐射;辐射聚焦布置(26),用于提供该输入辐射到样品(20)的分析区域;辐射收集(26)布置,用于收集由于该输入辐射与该样品的相互作用引起的、来自该样品的分析区域的输出辐射;辐射检测器(28),用于检测所收集的输出辐射;操作装置(40,50,60),用于在第一检测模式和第二检测模式中操作该检测设备,其中在该第一检测模式中,该分析区域具有第一尺寸和/或形状,其中在该第二检测模式中,该分析区域具有与该第一尺寸和/或形状不同的第二尺寸和/或形状。

    光学照射设备和方法

    公开(公告)号:CN102047099A

    公开(公告)日:2011-05-04

    申请号:CN200980119491.9

    申请日:2009-05-18

    IPC分类号: G01N21/64 G02B21/00

    摘要: 一种用于检测来自样本(36)的2D区域的光的光学系统包括用于收集来自样本的收集区的光的收集透镜(34)。光检测器(44)位置相对于样本固定,并且反射器装置(61)将收集的光定向到检测器。反射器装置包括可动部件并且收集透镜(34)可相对于样本运动。收集透镜和可动部件可被配置成限定不同的收集区,并且所述部件的运动实现来自收集区的光定向到光检测器(44)的基本上不变的区域。这种布置避免了对于庞大检测器的需要以便检测来自通过跨样本扫描而形成的2D样本区域的信号。

    用于利用线束照射样本的光学照射装置

    公开(公告)号:CN101868752B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN200880117273.7

    申请日:2008-11-19

    IPC分类号: G02B27/09 G01N19/08

    摘要: 一种用于利用线束照射样本的光学照射装置包括:光源(24);光束定形器(30),其用于将光源发射的光束转换成中间像散像;以及成像系统,其用于将该中间像散像转换成最终的像散像并且用于照射样本。光束定形器(30)在侧向平面内以及在横向平面内提供不同的非单位放大率,并且包括用于实现角放大和角缩小的环形入射表面和具有有限曲率半径的环形出射表面。本发明允许结合成像系统使用通常用来使光输出具有更圆的截面的现有光束定形装置,以便提供对样本的线束照射。

    检测系统和方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101903761A

    公开(公告)日:2010-12-01

    申请号:CN200880121688.1

    申请日:2008-12-10

    IPC分类号: G01N21/64

    CPC分类号: G01N21/6456

    摘要: 一种检测系统,包括:辐射源(24),用于提供输入辐射;辐射聚焦布置(26),用于提供该输入辐射到样品(20)的分析区域;辐射收集(26)布置,用于收集由于该输入辐射与该样品的相互作用引起的、来自该样品的分析区域的输出辐射;辐射检测器(28),用于检测所收集的输出辐射;操作装置(40,50,60),用于在第一检测模式和第二检测模式中操作该检测设备,其中在该第一检测模式中,该分析区域具有第一尺寸和/或形状,其中在该第二检测模式中,该分析区域具有与该第一尺寸和/或形状不同的第二尺寸和/或形状。