发明公开
CN101981431A 电阻率检查方法及其装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 电阻率检查方法及其装置
- 专利标题(英): Resistivity checking method and device therefor
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申请号: CN200980111369.7申请日: 2009-07-02
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公开(公告)号: CN101981431A公开(公告)日: 2011-02-23
- 发明人: 坂井智嗣 , 高野晓巳 , 小林靖之 , 山口贤刚
- 申请人: 三菱重工业株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 三菱重工业株式会社
- 当前专利权人: 三菱重工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- 代理商 高培培; 车文
- 优先权: 2008-207062 2008.08.11 JP
- 国际申请: PCT/JP2009/062117 2009.07.02
- 国际公布: WO2010/018717 JA 2010.02.18
- 进入国家日期: 2010-09-28
- 主分类号: G01N21/21
- IPC分类号: G01N21/21 ; G01N21/35 ; G01R27/02 ; H01L31/04
摘要:
以非破坏、非接触、高效率且高精度计测透明导电膜的电阻率为目的。提供一种电阻率检查装置,具备:光照射装置(3),其将具有通过事先进行的检查条件选定方法选定的波长的P偏振光的照明光以通过该方法选定的入射角对在制造生产线上输送的透光性基板上成膜的透明导电膜从膜面侧进行照射;光检测装置(2),其检测在透明导电膜反射的反射光;信息处理装置(7),其基于检测到的光的强度,算出与该波长有关的反射光的光量的评价值,使用将评价值与电阻率预先建立关联的相关特性,由算出的所述评价值求出电阻率。
公开/授权文献
- CN101981431B 电阻率检查方法及其装置 公开/授权日:2012-10-03