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电阻率检查方法及其装置
摘要:
以非破坏、非接触、高效率且高精度计测透明导电膜的电阻率为目的。提供一种电阻率检查装置,具备:光照射装置(3),其将具有通过事先进行的检查条件选定方法选定的波长的P偏振光的照明光以通过该方法选定的入射角对在制造生产线上输送的透光性基板上成膜的透明导电膜从膜面侧进行照射;光检测装置(2),其检测在透明导电膜反射的反射光;信息处理装置(7),其基于检测到的光的强度,算出与该波长有关的反射光的光量的评价值,使用将评价值与电阻率预先建立关联的相关特性,由算出的所述评价值求出电阻率。
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