-
公开(公告)号：CN104272094B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201380023962.2
申请日：2013-06-07
申请人： 三菱重工业株式会社
摘要： 本发明提供一种缺陷判定装置、放射线摄像系统及缺陷判定方法。图像处理装置(20)根据由对透过了作为被检查对象物的产品的放射线进行检测的放射线摄像装置得到的检测图像数据，判定产品有无缺陷。图像处理装置(20)基于由预先存储在DB存储部(36)中的特征数据所表示的产品特征的形状，确定检测图像数据中的产品特征的位置，将已确定的检测图像数据中的产品特征作为基准来提取候补缺陷，并基于由预先存储在DB存储部(36)中的缺陷特性DB所表示的产品缺陷的特性量和候补缺陷的特性量，判定产品有无缺陷。
-
公开(公告)号：CN102165281B
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN200980138578.0
申请日：2009-07-02
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： G01B11/06 , H01L21/205
CPC分类号： G01B11/0625
摘要： 薄膜检查装置包括：存储部(14)，该存储部保存有至少2个特征量特性，所述2个特征量特性由以下方式得到：从因第1透明薄膜和第2透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选择至少2个特征量，并将所选择的该特征量中的每一个特征量与第1透明薄膜的膜厚和第2透明薄膜的膜厚分别建立关联；对被检查基板(S)从透明玻璃基板侧照射白色光的光照射部(11)；接受来自被检查基板(S)的反射光的受光部(12)；和运算部(15)，从基于受光的反射光的分光反射光谱求出在存储部(14)中保存的各特征量的实测值，使用求出的各特征量的实测值和在存储部(14)中保存的特征量特性，分别求出第1透明薄膜和第2透明薄膜的膜厚。
-
公开(公告)号：CN102165282B
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN200980138478.8
申请日：2009-07-02
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N2021/8928
摘要： 本发明目的在于能够降低薄膜的基板面内的膜厚变动的影响，实现计测精度的提高。包括：对在璃基板上形成有薄膜的被检查基板(W)从该玻璃基板侧照射单波长的光的光源；以受光轴相对于从光源射出的照明光的光轴以预定的倾斜角度交叉的方式配置，对透过被检查基板(W)的扩散透过光进行受光的受光元件；和基于由受光元件接受的光的强度求出薄膜的雾度率的计算机(7)。计算机(7)具有将雾度率与扩散透过光的光强度建立关联而成的雾度率特性，利用该雾度率特性和由上述受光元件接受的光强度求出雾度率。
-
公开(公告)号：CN101932750A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN200880125848.X
申请日：2008-06-27
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： C23C16/44 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC分类号： C23C16/4401 , C23C16/4404 , C23C16/4405 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32862
摘要： 本发明提供一种真空处理装置，其能够简单地、且以具有通用性的方式设定进行自清洗的定时，并且能够进一步延长该定时，能够提高生产效率。一种向对基板(4)进行制膜处理的制膜室(1)内导入清洗气体进行自清洗的等离子体CVD装置(100)，其中，进行自清洗的定时在制膜运转时间比例(Ps)相对于制膜处理量的增大而饱和的范围内设定，该制膜运转时间比例(Ps)利用制膜关联作业时间(Tt)占制膜关联作业时间(Tt)与清洗关联作业时间(Tc)之和的比例来表示。
-
公开(公告)号：CN104272094A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380023962.2
申请日：2013-06-07
申请人： 三菱重工业株式会社
摘要： 本发明提供一种缺陷判定装置、放射线摄像系统及缺陷判定方法。图像处理装置(20)根据由对透过了作为被检查对象物的产品的放射线进行检测的放射线摄像装置得到的检测图像数据，判定产品有无缺陷。图像处理装置(20)基于由预先存储在DB存储部(36)中的特征数据所表示的产品特征的形状，确定检测图像数据中的产品特征的位置，将已确定的检测图像数据中的产品特征作为基准来提取缺陷候补，并基于由预先存储在DB存储部(36)中的缺陷特性DB所表示的产品缺陷的特性量和缺陷候补的特性量，判定产品有无缺陷。
-
公开(公告)号：CN101932750B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN200880125848.X
申请日：2008-06-27
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： C23C16/44 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC分类号： C23C16/4401 , C23C16/4404 , C23C16/4405 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32862
摘要： 本发明提供一种真空处理装置，其能够简单地、且以具有通用性的方式设定进行自清洗的定时，并且能够进一步延长该定时，能够提高生产效率。一种向对基板(4)进行制膜处理的制膜室(1)内导入清洗气体进行自清洗的等离子体CVD装置(100)，其中，进行自清洗的定时在制膜运转时间比例(Ps)相对于制膜处理量的增大而饱和的范围内设定，该制膜运转时间比例(Ps)利用制膜关联作业时间(Tt)占制膜关联作业时间(Tt)与清洗关联作业时间(Tc)之和的比例来表示。
-
公开(公告)号：CN101772844B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200780100152.7
申请日：2007-08-14
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： H01L31/042
CPC分类号： H01L31/03921 , H01L31/046 , H01L31/0463 , Y02E10/50
摘要： 本发明提供一种光电变换装置及其制造方法，可以防止由于通过浸入的水分发生的电析而引起的性能降低。在光电变换装置中，在侧方绝缘槽(16)的基板中央侧，以在Y方向上延伸的状态，在X方向上并列形成两个以上的中间绝缘槽(17)，该中间绝缘槽(17)将在X方向上相邻的太阳能电池单元(5)之间电绝缘，在各中间绝缘部(17)的中途位置，设置有将在X方向上相邻的太阳能电池单元(5)彼此电连接的导通部(18)，导通部(18)所处的太阳能电池单元(5)通过从导通部(18)在X方向上离开的其他中间绝缘槽(17)，从在X方向上相邻的太阳能电池单元(5)电绝缘。
-
公开(公告)号：CN101772844A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200780100152.7
申请日：2007-08-14
申请人： 三菱重工业株式会社
IPC分类号： H01L31/042
CPC分类号： H01L31/03921 , H01L31/046 , H01L31/0463 , Y02E10/50
摘要： 本发明提供一种光电变换装置及其制造方法，可以防止由于通过浸入的水分发生的电析而引起的性能降低。在光电变换装置中，在侧方绝缘槽(16)的基板中央侧，以在Y方向上延伸的状态，在X方向上并列形成两个以上的中间绝缘槽(17)，该中间绝缘槽(17)将在X方向上相邻的太阳能电池单元(5)之间电绝缘，在各中间绝缘部(17)的中途位置，设置有将在X方向上相邻的太阳能电池单元(5)彼此电连接的导通部(18)，导通部(18)所处的太阳能电池单元(5)通过从导通部(18)在X方向上离开的其他中间绝缘槽(17)，从在X方向上相邻的太阳能电池单元(5)电绝缘。
-
公开(公告)号：CN101981431B
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN200980111369.7
申请日：2009-07-02
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/3563 , G01N21/55 , G01N21/8422 , G01R31/2831 , H01L31/1884 , Y10T29/53126
摘要： 以非破坏、非接触、高效率且高精度计测透明导电膜的电阻率为目的。提供一种电阻率检查装置，具备：光照射装置(3)，其将具有通过事先进行的检查条件选定方法选定的波长的P偏振光的照明光以通过该方法选定的入射角对在制造生产线上输送的透光性基板上成膜的透明导电膜从膜面侧进行照射；光检测装置(2)，其检测在透明导电膜反射的反射光；信息处理装置(7)，其基于检测到的光的强度，算出与该波长有关的反射光的光量的评价值，使用将评价值与电阻率预先建立关联的相关特性，由算出的所述评价值求出电阻率。
-
公开(公告)号：CN102165282A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN200980138478.8
申请日：2009-07-02
申请人： 三菱重工业株式会社
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/06 , G01B11/30 , G01N2021/8928
摘要： 本发明目的在于能够降低薄膜的基板面内的膜厚变动的影响，实现计测精度的提高。包括：对在璃基板上形成有薄膜的被检查基板(W)从该玻璃基板侧照射单波长的光的光源；以受光轴相对于从光源射出的照明光的光轴以预定的倾斜角度交叉的方式配置，对透过被检查基板(W)的扩散透过光进行受光的受光元件；和基于由受光元件接受的光的强度求出薄膜的雾度率的计算机(7)。计算机(7)具有将雾度率与扩散透过光的光强度建立关联而成的雾度率特性，利用该雾度率特性和由上述受光元件接受的光强度求出雾度率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
12 条记录 (耗时 0.026 秒)