- 专利标题: 具有嵌入式静态随机存取存储器的集成电路及其工艺方法
- 专利标题(英): Integrated circuit with embedded SRAM and technical method thereof
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申请号: CN201010288015.4申请日: 2010-09-17
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公开(公告)号: CN102024823B公开(公告)日: 2013-06-26
- 发明人: 廖忠志
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市
- 代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 姜燕; 陈晨
- 优先权: 61/243,896 2009.09.18 US; 12/829,084 2010.07.01 US
- 主分类号: H01L27/115
- IPC分类号: H01L27/115 ; H01L21/8247 ; G11C11/413
摘要:
一种具有嵌入式静态随机存取存储器的集成电路及其工艺方法,该集成电路包括一第一核心,包括一第一逻辑区域,具有一第一栅极介电层厚度和多个第一NMOS晶体管,其中第一NMOS晶体管具有以一第一轻掺杂漏极光掩模所注入的轻掺杂漏极区域;一单端口型的嵌入式静态随机存取存储器区域,具有第一栅极介电层厚度和多个第二NMOS晶体管,其中第二NMOS晶体管具有以一第二轻掺杂漏极光掩模所注入的轻掺杂漏极区域;以及一第一双端口型的嵌入式静态随机存取存储器区域,具有第一栅极介电层厚度和至少一第三NMOS晶体管,第三晶体管具有以第一轻掺杂漏极光掩模所注入的轻掺杂漏极区域。本发明降低待机耗电、与改善的存取速度。
公开/授权文献
- CN102024823A 具有嵌入式静态随机存取存储器的集成电路及其工艺方法 公开/授权日:2011-04-20
IPC分类: