具有嵌入式静态随机存取存储器的集成电路及其工艺方法
摘要:
一种具有嵌入式静态随机存取存储器的集成电路及其工艺方法,该集成电路包括一第一核心,包括一第一逻辑区域,具有一第一栅极介电层厚度和多个第一NMOS晶体管,其中第一NMOS晶体管具有以一第一轻掺杂漏极光掩模所注入的轻掺杂漏极区域;一单端口型的嵌入式静态随机存取存储器区域,具有第一栅极介电层厚度和多个第二NMOS晶体管,其中第二NMOS晶体管具有以一第二轻掺杂漏极光掩模所注入的轻掺杂漏极区域;以及一第一双端口型的嵌入式静态随机存取存储器区域,具有第一栅极介电层厚度和至少一第三NMOS晶体管,第三晶体管具有以第一轻掺杂漏极光掩模所注入的轻掺杂漏极区域。本发明降低待机耗电、与改善的存取速度。
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