发明授权
- 专利标题: 声波谐振器及其加工方法
- 专利标题(英): Sonic wave resonator and processing method thereof
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申请号: CN201010513559.6申请日: 2010-10-21
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公开(公告)号: CN102025340B公开(公告)日: 2013-05-08
- 发明人: 庞慰 , 张浩
- 申请人: 张浩
- 申请人地址: 广东省珠海市吉大水湾路233号山水华庭2栋5单元301
- 专利权人: 张浩
- 当前专利权人: 诺思(天津)微系统有限责任公司
- 当前专利权人地址: 广东省珠海市吉大水湾路233号山水华庭2栋5单元301
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 杜文茹
- 主分类号: H03H9/17
- IPC分类号: H03H9/17 ; H03H3/02
摘要:
一种声波谐振器及其加工方法,声波谐振器包括:具有空气腔的基底;在基底上形成的第一钝化层,且位于空气腔上方;在第一钝化层上形成的种子层,第一钝化层阻止种子层与谐振器周围环境相互作用;在种子层上形成的多层结构;以及在多层结构上表面形成的第二钝化层。方法包括如下步骤:提供带有牺牲层的基底;在牺牲层上形成第一钝化层并延伸至整个基底;在第一钝化层上形成种子层;在种子层上形成多层结构;在多层结构上表面形成第二钝化层;以及将牺牲层从基底移除以形成空气腔。本发明可以减弱材料在谐振器表面的吸附,消除或减轻由于周围空气或潮湿环境影响而产生的谐振器频率偏移,很大程度上放松了对谐振器密闭封装的要求,极大的降低了器件制造成本。
公开/授权文献
- CN102025340A 声波谐振器及其加工方法 公开/授权日:2011-04-20