发明公开
CN102096318A 激光直写技术制备多级结构微阵列的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 激光直写技术制备多级结构微阵列的方法
- 专利标题(英): Method for preparing multi-level structural microarray by laser direct-writing technology
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申请号: CN201110009205.2申请日: 2011-01-17
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公开(公告)号: CN102096318A公开(公告)日: 2011-06-15
- 发明人: 于敏 , 浦东林 , 耿路峰 , 陈林森 , 戴振东
- 申请人: 南京航空航天大学 , 苏州大学
- 申请人地址: 江苏省南京市白下区御道街29号
- 专利权人: 南京航空航天大学,苏州大学
- 当前专利权人: 南京航空航天大学,苏州大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市白下区御道街29号
- 代理机构: 南京经纬专利商标代理有限公司
- 代理商 叶连生
- 主分类号: G03F7/00
- IPC分类号: G03F7/00 ; G03F7/30 ; G03F7/20
摘要:
一种激光直写技术制备多级结构微阵列的方法,属于激光微加工领域。阵列制备过程中,平面几何结构由输入计算机的平面图形决定,分辨率取决于光路中的缩微镜头倍数和纳米电机的精度,可达到0.3μm;基于实验得出的曝光深度与曝光时间的关系,显影深度与显影时间的关系,通过曝光时间和显影时间的调控来控制加工尺寸的深度。本发明无需掩膜,也无需光刻制模,大大降低了阵列的制备成本,本发明具有制备多级结构的可行性,且效率高,适合于工业化生产普及。
公开/授权文献
- CN102096318B 激光直写技术制备多级结构微阵列的方法 公开/授权日:2012-05-23