Invention Grant
- Patent Title: 高压双极晶体管
- Patent Title (English): High-voltage bipolar transistor
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Application No.: CN200910201946.3Application Date: 2009-12-15
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Publication No.: CN102097464BPublication Date: 2012-10-03
- Inventor: 邱慈云 , 朱东园 , 钱文生 , 范永洁 , 胡君 , 刘冬华 , 吕煜坤
- Applicant: 上海华虹NEC电子有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区川桥路1188号
- Assignee: 上海华虹NEC电子有限公司
- Current Assignee: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区川桥路1188号
- Agency: 上海浦一知识产权代理有限公司
- Agent 丁纪铁
- Main IPC: H01L29/732
- IPC: H01L29/732 ; H01L21/331 ; H01L21/762

Abstract:
本发明公开了一种高压双极晶体管,有源区由浅槽场氧隔离,包括:一集电区,由形成于有源区中的第一导电类型的杂质离子注入层构成,集电区底部两侧各连接一个赝埋层,赝埋层通过在有源区两侧的浅槽底部注入杂质离子形成,有源区两侧的两个赝埋层本身不相连接;通过在赝埋层上场氧中制作深槽接触引出集电极;一基区,由形成于集电区上的第二导电类型的外延层构成,通过其本征基区和集电区相连接,通过在其外基区上做金属接触引出基极;一发射区,由形成于基区上的第一导电类型的多晶硅构成。本发明能使集电极基极耗尽区的限制方向从纵向转移成横斜方向,能通过增加有源区宽度来增加器件的击穿电压、降低生产成本。
Public/Granted literature
- CN102097464A 高压双极晶体管 Public/Granted day:2011-06-15
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IPC分类: