发明授权
CN102113088B 校准装置控制装置以及校准方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 校准装置控制装置以及校准方法
- 专利标题（英）： Alignment device controller and alignment method
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申请号： CN200980130073.X申请日： 2009-10-28
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公开(公告)号： CN102113088B公开(公告)日： 2013-03-27
- 发明人: 津村阳一郎 , 稻叶贵则
- 申请人： 三菱重工业株式会社 , 株式会社法视特
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 三菱重工业株式会社,株式会社法视特
- 当前专利权人： 三菱重工业株式会社,株式会社法视特
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 胡金珑
- 优先权： 279262/08 2008.10.30 JP
- 国际申请： PCT/JP2009/068486 2009.10.28
- 国际公布： WO2010/050500 JA 2010.05.06
- 进入国家日期： 2011-01-30
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/60 ; B81C3/00
摘要：
本发明的校准装置控制装置包括：拍摄单元，利用照相机拍摄分别摄有衬底的表面中的多个区域的多个图像；区域检测单元，基于多个图像，从多个区域中选择检测区域；以及位置对准单元，基于通过该照相机拍摄，且摄有在检测区域中形成的标记的校准用图像，对衬底进行位置对准。因此这样的校准装置控制装置无需为了在该照相机的视野中配置用于位置对准的标记而具有单独的机构，规模减小，能够更容易制造，能够更容易检测有校准标记的区域。
公开/授权文献
- CN102113088A 校准装置控制装置以及校准方法 公开/授权日：2011-06-29