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公开(公告)号:CN102113088A
公开(公告)日:2011-06-29
申请号:CN200980130073.X
申请日:2009-10-28
CPC分类号: H01L21/681 , H01L21/67005 , H01L21/682 , H01L23/544 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 本发明的校准装置控制装置包括:拍摄单元,利用照相机拍摄分别摄有衬底的表面中的多个区域的多个图像;区域检测单元,基于多个图像,从多个区域中选择检测区域;以及位置对准单元,基于通过该照相机拍摄,且摄有在检测区域中形成的标记的校准用图像,对衬底进行位置对准。因此这样的校准装置控制装置无需为了在该照相机的视野中配置用于位置对准的标记而具有单独的机构,规模减小,能够更容易制造,能够更容易检测有校准标记的区域。
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公开(公告)号:CN102113088B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN200980130073.X
申请日:2009-10-28
CPC分类号: H01L21/681 , H01L21/67005 , H01L21/682 , H01L23/544 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要: 本发明的校准装置控制装置包括:拍摄单元,利用照相机拍摄分别摄有衬底的表面中的多个区域的多个图像;区域检测单元,基于多个图像,从多个区域中选择检测区域;以及位置对准单元,基于通过该照相机拍摄,且摄有在检测区域中形成的标记的校准用图像,对衬底进行位置对准。因此这样的校准装置控制装置无需为了在该照相机的视野中配置用于位置对准的标记而具有单独的机构,规模减小,能够更容易制造,能够更容易检测有校准标记的区域。
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