发明公开
- 专利标题: 非晶碲镉汞单片集成式焦平面探测器
- 专利标题(英): Amorphous HgCdTe monolithic integrated type focal plane detector
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申请号: CN200910163261.4申请日: 2009-12-30
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公开(公告)号: CN102117816A公开(公告)日: 2011-07-06
- 发明人: 史衍丽 , 姬荣斌 , 李凡 , 何雯瑾 , 邓功荣 , 杨瑞宇 , 康蓉 , 彭曼泽
- 申请人: 昆明物理研究所
- 申请人地址: 云南省昆明市教场东路31号
- 专利权人: 昆明物理研究所
- 当前专利权人: 昆明物理研究所
- 当前专利权人地址: 云南省昆明市教场东路31号
- 代理机构: 昆明今威专利代理有限公司
- 代理商 赛晓刚
- 主分类号: H01L27/144
- IPC分类号: H01L27/144 ; H01L31/09 ; G01J1/42 ; G01J5/10
摘要:
非晶碲镉汞单片集成式焦平面探测器,其特征在于:由读出电路,铝电极,下电极,光敏层和上电极组成。在读出电路上设计有铝电极,铝电极上设计有凹槽,在凹槽内沉积金属下电极,下电极通过铝电极与读出电路连接,在读出电路、铝电极以及下电极三个部分的表面上设计有光敏层,在光敏层上沉积金属上电极。该探测器可用于红外波段和可见光波段。通过实验测试证明:本发明能简化焦平面探测器制造工艺,消除探测器芯片和读出电路两者的材料差异,避免探测器芯片和读出电路之间产生应力或应变,使单片集成式焦平面探测器的可靠性得到显著改善,并使探测器具有较高的外量子效率。
公开/授权文献
- CN102117816B 非晶碲镉汞单片集成式焦平面探测器 公开/授权日:2013-03-06
IPC分类: