- 专利标题： 表面处理陶瓷构件、其制造方法及真空处理装置
- 专利标题（英）： Surface-treated ceramic member, method for producing same, and vacuum processing device
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申请号： CN200980132385.4申请日： 2009-08-10
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公开(公告)号： CN102123970B公开(公告)日： 2014-01-29
- 发明人: 中野贤明 , 伊东润一 , 平松大典 , 荒堀忠久 , 冈本研
- 申请人： 爱发科股份有限公司 , 飞罗得陶瓷股份有限公司
- 申请人地址： 日本神奈川县
- 专利权人： 爱发科股份有限公司,飞罗得陶瓷股份有限公司
- 当前专利权人： 爱发科股份有限公司,飞罗得陶瓷股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本神奈川县
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权： 2008-211292 2008.08.20 JP
- 国际申请： PCT/JP2009/064109 2009.08.10
- 国际公布： WO2010/021260 JA 2010.02.25
- 进入国家日期： 2011-02-18
- 主分类号： C04B41/84
- IPC分类号： C04B41/84 ; C01B33/12 ; C23C18/02 ; H01L21/3065
摘要：
一种表面处理陶瓷构件，其为气孔率为1％以下的陶瓷烧结体基材的至少部分具有皮膜形成表面的陶瓷构件，皮膜形成表面是由硅醇盐化合物聚合体的溶胶凝胶皮膜和基材表面混杂存在而成的，具体而言，所述溶胶凝胶皮膜的面积率为皮膜形成表面整体的5～80％。该表面处理陶瓷构件具有优异的耐腐蚀性，不存在颗粒的飞散。
公开/授权文献
- CN102123970A 表面处理陶瓷构件、其制造方法及真空处理装置 公开/授权日：2011-07-13
