本发明涉及一种微波毫米波超宽带六位MMIC(单片微波集成电路)数字移相器，该移相器由5.625°、11.25°、22.5°、45°、90°、180°相移单元电路级联构成，5.625°相移位采用高/低通滤波器型拓扑结构，11.25°、22.5°、45°、90°、180°相移位均采用反射型拓扑结构，该移相器以5.625°为相移步进值，在0～360°的范围内总共可实现64种相移状态；该发明首先单独设计每一种移相位的单元电路，在每一个单元电路设计完成之后，采取从高位相移到低位相移排列顺序六位级联实现微波毫米波超宽带六位MMIC数字移相器；由于MMIC具有电路损耗小、噪声低、频带宽、动态范围大、功率大、附加效率高、抗辐射能力强等优点，使得本发明电路拓扑及设计简单，制造工艺简便，成本低，芯片面积小，电性能改善大，工作频率带宽，插入损耗小，相移精度高。