一种基于纳米压印的高出光效率LED的制备方法
摘要:
本发明公开了一种基于纳米压印的GaN基LED制备方法,包括:(1)利用铝的阳极氧化方法制备纳米压印模板;(2)对所述纳米压印模板进行防粘处理;(3)在目标片上旋涂一层光刻胶;(4)将上述纳米压印模板与目标片进行纳米压印;(5)将上述压印处理后的纳米压印模板与目标片分离,从而在所述目标片表层的光刻胶上形成所需的图案;(6)利用电感耦合等离子体(ICP)刻蚀或者反应离子束(RIE)蚀刻,将上述图案转移到目标片上;(7)将目标片经后续工艺处理,制得所述GaN基LED。本发明的方法简便易行,通过阳极氧化方法制备纳米压印模板,适合于大规模工业生产的纳米压印技术来制作高出光效率的GaN基光子晶体LED。
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