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公开(公告)号：CN116931256A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310885880.4
申请日：2023-07-18
申请人： 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
摘要： 本发明涉及光学显微扫描领域，具体涉及多功能复合型扫描探头。本发明包含探头壳体、第一传输光纤、第二传输光纤、穿孔光纤固定组件、第一固定组件、第一透镜组、第二固定组件、第二透镜组，其中第一透镜组的所述第一数值孔径大于与所述第二透镜组的所述第二数值孔径，第一透镜组的光轴与第二透镜组的光轴存在固定夹角。该发明将大数值孔径的可见光探头和小数值孔径的多波长红外探头固定集成，平移或旋转透镜组时不需要二次标定，具有较高的工作效率和较强的系统稳定性。主要用于微结构和微纳光学元件测量。
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公开(公告)号：CN116929203A
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202310880983.1
申请日：2023-07-18
申请人： 华中科技大学 , 深圳华中科技大学研究院
摘要： 本发明涉及光学显微扫描领域，具体涉及一种高分辨率蓝光干涉扫描探头及系统。本发明包含激光发射单元、第一传输光纤、光环形器、第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组，激光发射单元发射波长范围为400nm～500nm的第一方向蓝光，经过第一传输光纤，输入到光环形器的第一输入光口；光环形器的第二双向光口输出后，依次经过第二传输光纤、干涉端面、大数值孔径聚焦透镜组照射到被测物表面；被测物表面反射光沿第二方向经过大数值孔径聚焦透镜组在干涉端面处与第一方向蓝光形成干涉，干涉光信号经过第二传输光纤、光环形器的第三输出光口到达激光接收单元，实现对干涉光信号的光电转换和解析。该发明使用蓝光干涉扫描和相位生成载波技术，具有扫描速度快，横向和法向扫描精度高的特点。主要用于微结构和微纳光学元件测量。
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公开(公告)号：CN107275204B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201710471345.9
申请日：2017-06-20
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： H01L21/308 , H01L31/0236 , B82Y40/00
CPC分类号： Y02E10/50
摘要： 本发明主要属于纳米光电器件制备领域，具体涉及一种基于多孔阳极氧化铝模板的纳米光电器件制备方法。通过人工方法生成纳米孔阵列阳极氧化铝膜；利用铝箔和平整基底做支撑，将制备好的多孔阳极氧化铝模板转移到光电器件上得到样片；采用沉积或刻蚀技术对样片进行沉积或刻蚀；利用物理或者化学方法去除多孔阳极氧化铝模板，在光电器件上得到纳米阵列结构。本发明通过人工低成本获得的多孔阳极氧化铝膜做模板，采用纳米加工技术，制备大面积的均匀纳米孔、纳米点、纳米柱和纳米圆台阵列，从而获得纳米结构光电器件。
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公开(公告)号：CN106544702B
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201610910523.9
申请日：2016-10-19
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种基于聚合物的金属纳米筛的制备方法。包括利用电化学阳极氧化方法制备多孔氧化铝模板；在多孔氧化铝模板上沉积一层金属形成金属纳米筛结构；利用纳米压印方法将金属纳米筛结构转移到聚合物上。该制备工艺简单，成本低，适合大规模工业生产；且用该方法制备的金属纳米筛结构，由于将金属纳米筛完整的转移到聚合物上，使得制备的基于聚合物的金属纳米筛性能优良，具有透明、轻量、可折叠、便携、易处理等特点，在荧光增强、拉曼增强、催化、传感等领域有着重大的应用价值。此外，其作为电极材料可以广泛应用在锂电池、超级电容器、有机太阳能电池等领域。
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公开(公告)号：CN108925283A
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201810857380.9
申请日：2018-07-31
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： A01G9/02 , A01G27/00 , G05B19/418 , G05D25/02
摘要： 本发明属于智能物联网植物墙技术领域，公开了一种基于物联网的简易移动式智能光照植物墙装备及控制方法，均匀分布在植物墙支架内的信号传感器采集电源模块、半自动水肥系统、种植模块的相关信息后，系统控制器处理数据，在显示器上显示并控制风扇、水箱、智能光照模块的工作状态；当湿度、温度不正常时，报警器发出声音并开启闪烁灯进行报警，将报警信号通过蓝牙模块或物联网网关传递到移动终端设备。本发明提供了一种随时随地远程获取植物墙信息并可以控制植物墙工作状态的新型智能植物墙；可以通过拼接构成不同大小的墙体，整个系统均采用模块化设计，十分方便安装和拆卸。此外，植物墙还可以移动，方便室内的摆放以及布局。
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公开(公告)号：CN107275204A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710471345.9
申请日：2017-06-20
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： H01L21/308 , H01L31/0236 , B82Y40/00
CPC分类号： Y02E10/50 , H01L31/02363 , B82Y40/00 , H01L21/3081 , H01L21/3086
摘要： 本发明主要属于纳米光电器件制备领域，具体涉及一种基于多孔阳极氧化铝模板的纳米光电器件制备方法。通过人工方法生成纳米孔阵列阳极氧化铝膜；利用铝箔和平整基底做支撑，将制备好的多孔阳极氧化铝模板转移到光电器件上得到样片；采用沉积或刻蚀技术对样片进行沉积或刻蚀；利用物理或者化学方法去除多孔阳极氧化铝模板，在光电器件上得到纳米阵列结构。本发明通过人工低成本获得的多孔阳极氧化铝膜做模板，采用纳米加工技术，制备大面积的均匀纳米孔、纳米点、纳米柱和纳米圆台阵列，从而获得纳米结构光电器件。
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公开(公告)号：CN101806996A
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN201010136265.6
申请日：2010-03-31
申请人： 华中科技大学
摘要： 一种能够大面积制备价格低廉、高复用率、微纳尺寸可调的用于纳米压印的硬模板的制备方法，首先在草酸电解液中，采用电化学法制备规整的阳极氧化铝(AAO)模板；其次在AAO表面蒸镀一层全氟辛基-三氯硅烷(CF3(CF2)5(CH2)2SiCl3)脱模剂；在硅或石英基底上旋涂一层紫外可固化或热可固化光刻胶；利用紫外纳米压印或热纳米压印技术将阳极氧化铝模板的微纳结构复制到光刻胶表面；最后利用反应离子束蚀刻(RIE)，即可在硅或石英基底上得到这种能够大面积制备的价格低廉、高复用率、微纳尺寸可调的用于纳米压印的硅或石英硬模板。
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公开(公告)号：CN108925283B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN201810857380.9
申请日：2018-07-31
申请人： 华中科技大学
IPC分类号： A01G9/02 , A01G27/00 , G05B19/418 , G05D25/02
摘要： 本发明属于智能物联网植物墙技术领域，公开了一种基于物联网的简易移动式智能光照植物墙装备及控制方法，均匀分布在植物墙支架内的信号传感器采集电源模块、半自动水肥系统、种植模块的相关信息后，系统控制器处理数据，在显示器上显示并控制风扇、水箱、智能光照模块的工作状态；当湿度、温度不正常时，报警器发出声音并开启闪烁灯进行报警，将报警信号通过蓝牙模块或物联网网关传递到移动终端设备。本发明提供了一种随时随地远程获取植物墙信息并可以控制植物墙工作状态的新型智能植物墙；可以通过拼接构成不同大小的墙体，整个系统均采用模块化设计，十分方便安装和拆卸。此外，植物墙还可以移动，方便室内的摆放以及布局。
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公开(公告)号：CN107180897A
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201710471122.2
申请日：2017-06-20
申请人： 华中科技大学
CPC分类号： H01L33/005 , H01L33/20
摘要： 本发明主要属于纳米光电器件制备领域，具体涉及一种基于纳米筛掩模的纳米光电器件制备方法。通过人工生成的纳米孔阵列膜(支撑层)制备获得纳米筛掩模；将制备好的纳米筛掩模转移到光电器件上得到样片；采用沉积或刻蚀技术对样片进行沉积或刻蚀；利用物理或者化学方法去除纳米筛掩模，在光电器件上得到纳米阵列结构。本发明通过人工低成本获得的纳米筛做掩模，采用纳米加工技术，制备大面积的均匀纳米孔、纳米点、纳米柱和纳米圆台阵列，从而获得纳米结构光电器件。该技术的发现与突破，将使得大面积、低成本制备半导体表面有序纳米结构阵列成为可能，对推动纳米结构半导体器件的应用意义重大。
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公开(公告)号：CN103091979B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201310006963.8
申请日：2013-01-09
申请人： 华中科技大学
摘要： 本发明公开了一种纳米压印模板的制备方法，用于制作具有表面高增透性能的微结构，以用于光学器件，该方法包括：制备衬底并在衬底表面镀膜的步骤；对镀膜的衬底进行阳极氧化并进行扩孔处理以形成多孔氧化铝表面的步骤；和对经氧化扩孔处理后的器件进行干法或湿法刻蚀，获得具有粗糙起伏表面的纳米压印模板的步骤；衬底镀膜步骤中，先在衬底表面镀一层钛膜，然后在钛膜上镀铝膜，以增强铝膜的结合强度，防止铝膜上的纳米空洞脱落。本发明还公开了利用该方法制备的纳米压印模板以及具有利用该模板制备的微结构的光学器件。本发明可获得具有圆锥状的纳米孔洞形貌，其表面在微米级范围上具有百纳米级的起伏，从而制备出的微结构具有很好的增透效果。
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