电子显微镜的第一聚光镜
摘要:
本发明公开一种电子显微镜的第一聚光镜,属电子显微镜领域。包括:外壳为两端开口的圆柱环形空腔;上盖板、密封隔圈和磁环连接后设置在外壳内,上盖板盖住外壳的上端开口,在上盖板上设置铅板,上盖板、密封隔圈和磁环的中间部位均设有相互连通的通孔;上盖板、密封隔圈和磁环的连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和极靴组件,固定光阑组件和极靴组件中间部位均设有相互连通的通孔,连通后的通孔作为该第一聚光镜的电子束通路;在极靴组件连接处的密封隔圈和磁环外面围绕设置磁路线圈,磁路线圈上面设有水套隔圈组件,水套隔圈组件的上面为上盖板。该第一聚光镜结构简单,零部件少,操作方便,便于装配和维修,能将电子枪交叉点的电子束斑进行较大地缩小,提高电子显微镜性能。
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