发明授权
- 专利标题: 电子显微镜的第一聚光镜
- 专利标题(英): First collecting mirror of electron microscope
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申请号: CN201110077399.X申请日: 2011-03-29
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公开(公告)号: CN102169790B公开(公告)日: 2012-07-04
- 发明人: 董全林 , 姚骏恩 , 张春熹 , 张秀艳 , 孟凡念 , 崔永俊 , 迟悦 , 杨彦杰 , 于成交 , 袁水平
- 申请人: 北京航空航天大学
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人: 苏州博众仪器科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 代理机构: 北京凯特来知识产权代理有限公司
- 代理商 郑立明; 孟丽娟
- 主分类号: H01J37/26
- IPC分类号: H01J37/26 ; H01J37/141
摘要:
本发明公开一种电子显微镜的第一聚光镜,属电子显微镜领域。包括:外壳为两端开口的圆柱环形空腔;上盖板、密封隔圈和磁环连接后设置在外壳内,上盖板盖住外壳的上端开口,在上盖板上设置铅板,上盖板、密封隔圈和磁环的中间部位均设有相互连通的通孔;上盖板、密封隔圈和磁环的连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和极靴组件,固定光阑组件和极靴组件中间部位均设有相互连通的通孔,连通后的通孔作为该第一聚光镜的电子束通路;在极靴组件连接处的密封隔圈和磁环外面围绕设置磁路线圈,磁路线圈上面设有水套隔圈组件,水套隔圈组件的上面为上盖板。该第一聚光镜结构简单,零部件少,操作方便,便于装配和维修,能将电子枪交叉点的电子束斑进行较大地缩小,提高电子显微镜性能。
公开/授权文献
- CN102169790A 电子显微镜的第一聚光镜 公开/授权日:2011-08-31