电子显微镜的第二聚光镜

    公开(公告)号:CN102184828B

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN201110077557.1

    申请日:2011-03-29

    IPC分类号: H01J37/21 H01J37/26

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的第二聚光镜,属电子显微镜领域。包括:外壳为两端开口的圆环柱形空腔,下盖板盖住外壳的下端开口,磁环外面套装磁路线圈,两者均设置在外壳内,磁路线圈下面设有水套隔圈组件,水套隔圈组件下面为下盖板,下盖板、磁环、水套隔圈组件的中间部位均设有通孔,三者通孔相连通,连通后的通孔内从上至下依次设置垫圈和极靴组件;垫圈、极靴组件内均设有通孔,两者通孔相互连通,连通后的通孔内从上至下依次设置固定光阑组件和消象散组件。该第二聚光镜可将第一聚光镜缩小的电子枪交叉点的束斑进行适当放大,从而改变电子束斑的大小,实现针对不同样品可提供不同的束斑大小,提高电子显微镜的性能。

    电子显微镜的小聚光镜

    公开(公告)号:CN102136406A

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN201110032112.1

    申请日:2011-01-28

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的小聚光镜,属电子显微镜领域。包括:下极靴为上端开口的圆筒体,圆筒体上端开口外设有法兰,下端设有圆锥形底,圆锥形底上设有电子束通孔;上极靴为中空的圆筒体,上极靴下端设有环形凸台,上极靴设在下极靴内;磁路线圈组件由环形线圈套装在线圈筒架上构成,线圈筒架为中空圆筒体,圆筒体两端设有固定环形线圈的挡板;磁路线圈组件套装在下极靴内的上极靴上,夹设在上、下极靴之间,磁路线圈组件底端通过线圈垫板设置在上极靴的环形凸台上;下极靴的上端开口的法兰上设置能盖住下极靴内各部件的隔圈,隔圈与下极靴固定连接,隔圈的中心部位设有通孔。该小聚光镜结构简单,使用方便。

    电子显微镜的观察室隔离装置

    公开(公告)号:CN102231355B

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201110134583.3

    申请日:2011-05-23

    IPC分类号: H01J37/26 H01J37/02

    摘要: 本发明公开一种电子显微镜的观察室隔离装置,属于电子显微镜领域。该装置由支撑外壳、底盘组件、滑动导轨组件、阀体组件和驱动气缸连接构成;通过气缸驱动阀体组件,隔离或开通设置在支撑外壳的环形凹槽内的底盘组件的通孔,实现开关的目的。该隔离装置结构简单,便于操作,装配及维修方便,并且采用驱动气缸作为驱动装置,气动驱动具有体积小、作用力大、工作可靠、无污染等优点;阀体的运动配合机械限位,通过接触面的互相配合的凹槽和台阶,带动滑块运动,使隔离阀打开或关闭,在占用体积有限的情况下实现隔离阀功能。