- 专利标题: 用于制造光电子半导体芯片的方法和光电子半导体芯片
- 专利标题(英): Method for producing an optoelectronic semiconductor chip and optoelectronic semiconductor chip
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申请号: CN200980144749.0申请日: 2009-10-12
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公开(公告)号: CN102210031B公开(公告)日: 2015-07-01
- 发明人: 安德烈亚斯·比贝尔斯多夫 , 文森特·格罗利尔 , 卢茨·赫佩尔 , 汉斯-于尔根·卢高尔 , 马丁·斯特拉斯伯格
- 申请人: 欧司朗光电半导体有限公司
- 申请人地址: 德国雷根斯堡
- 专利权人: 欧司朗光电半导体有限公司
- 当前专利权人: 欧司朗光电半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 德国雷根斯堡
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 李德山; 周涛
- 优先权: 102008056371.4 2008.11.07 DE
- 国际申请: PCT/DE2009/001415 2009.10.12
- 国际公布: WO2010/051786 DE 2010.05.14
- 进入国家日期: 2011-05-09
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/32 ; H01L33/16
摘要:
提出了一种用于制造光电子半导体芯片的方法,包括以下步骤:A)构建带有至少一个被掺杂的功能层(7)的半导体层序列(200),其具有带有至少一种掺杂材料和至少一种共同掺杂材料的连接复合体,其中选自掺杂材料和共同掺杂材料的一个是电子受主,并且另一个是电子施主。B)通过借助引入能量(14,15)断开连接复合体来激活掺杂材料,其中共同掺杂材料至少部分地保留在半导体层序列(200)中并且至少部分地并不与掺杂材料形成连接复合体。此外,提出了一种光电子半导体芯片。
公开/授权文献
- CN102210031A 用于制造光电子半导体芯片的方法和光电子半导体芯片 公开/授权日:2011-10-05
IPC分类: