发明公开

一种光学投影系统
摘要:
本发明涉及一种投影光学系统,用于将物平面内的图形成像到像平面内,从物方到像方沿光轴方向依次设置有:第一至第八透镜,光阑设在第四透镜和第五透镜之间,其中,所述第一至第四透镜组合镜组的后焦点位于光阑的中心,第五至第八透镜组合镜组的前焦点位于光阑的中心,通过上述结构形成双远心结构。本发明的投影光学系统,如果选择比较容易实现的工艺因子K1=1.0,光刻分辨率完全可以达到15um,足以满足用于印刷电路板(PCB)的激光直接成像(LDI)光刻装备的技术要求,而且选择高透过率光学材料,可以适用于大剂量曝光要求。
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