发明授权
- 专利标题： 锗烷纯化
- 专利标题（英）： Germane purification
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申请号： CN200980154667.4申请日： 2009-11-16
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公开(公告)号： CN102282107B公开(公告)日： 2014-07-23
- 发明人: 加里·D·米勒
- 申请人： 伏太斯有限责任公司
- 申请人地址： 美国特拉华州
- 专利权人： 伏太斯有限责任公司
- 当前专利权人： 伏太斯有限责任公司
- 当前专利权人地址： 美国特拉华州
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 李新红
- 优先权： 61/115,132 2008.11.17 US
- 国际申请： PCT/US2009/064537 2009.11.16
- 国际公布： WO2010/057073 EN 2010.05.20
- 进入国家日期： 2011-07-15
- 主分类号： B01D53/02
- IPC分类号： B01D53/02
摘要：
一种用于纯化含有磷化氢的锗烷，以提供纯化的锗烷产品的方法和系统。本发明的一方面是制备含有低于50ppb磷化氢的纯化的锗烷产品的方法，其包括提供磷化氢污染的锗烷气体和氢气的混合物；使锗烷气体氢气混合物通过选择性吸附磷化氢的吸附剂，以及产生纯化的锗烷气体和氢气的混合物；以及从氢气锗烷气体混合物中分离纯化的锗烷气体。
公开/授权文献
- CN102282107A 锗烷纯化 公开/授权日：2011-12-14
IPC分类:
