公开(公告)号：CN102282107A

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN200980154667.4

申请日：2009-11-16

申请人： 伏太斯公司

发明人： 加里·D·米勒

IPC分类号： C01G17/00

CPC分类号： B01J20/18 ,  B01J20/28083 ,  B01J20/3078 ,  B01J2220/56 ,  C01B3/56

摘要： 一种用于纯化含有磷化氢的锗烷，以提供纯化的锗烷产品的方法和系统。本发明的一方面是制备含有低于50ppb磷化氢的纯化的锗烷产品的方法，其包括提供磷化氢污染的锗烷气体和氢气的混合物；使锗烷气体氢气混合物通过选择性吸附磷化氢的吸附剂，以及产生纯化的锗烷气体和氢气的混合物；以及从氢气锗烷气体混合物中分离纯化的锗烷气体。

公开(公告)号：CN102458643A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201080033761.7

申请日：2010-06-02

申请人： 伏太斯有限责任公司

发明人： 加里·D·米勒

IPC分类号： B01J19/00

CPC分类号： C01B33/08 ,  B01J4/002 ,  B01J8/006 ,  B01J19/2415 ,  B01J2219/185 ,  B01J2219/1943 ,  C01B21/087

摘要： 描述用于从氨气和单卤代硅烷气体以高产率制备甲硅烷基胺以及具体为三甲硅烷基胺(TSA)的装置、管状层流、活塞流气体反应器。该反应器可为管状流反应器，包括限定了气体进入区的反应器的第一部分，限定了反应区的反应器的第二部分，以及限定了分离区的反应器的第三部分，反应区提供反应物接触区域。三甲硅烷基胺可在冷却截流收集容器中的分离区内得到。

公开(公告)号：CN102458643B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201080033761.7

申请日：2010-06-02

申请人： 伏太斯有限责任公司

发明人： 加里·D·米勒

IPC分类号： B01J19/00

CPC分类号： C01B33/08 ,  B01J4/002 ,  B01J8/006 ,  B01J19/2415 ,  B01J2219/185 ,  B01J2219/1943 ,  C01B21/087

摘要： 描述用于从氨气和单卤代硅烷气体以高产率制备甲硅烷基胺以及具体为三甲硅烷基胺(TSA)的装置、管状层流、活塞流气体反应器。该反应器可为管状流反应器，包括限定了气体进入区的反应器的第一部分，限定了反应区的反应器的第二部分，以及限定了分离区的反应器的第三部分，反应区提供反应物接触区域。三甲硅烷基胺可在冷却截流收集容器中的分离区内得到。

公开(公告)号：CN102282107B

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN200980154667.4

申请日：2009-11-16

申请人： 伏太斯有限责任公司

发明人： 加里·D·米勒

IPC分类号： B01D53/02

CPC分类号： B01J20/18 ,  B01J20/28083 ,  B01J20/3078 ,  B01J2220/56 ,  C01B3/56

摘要： 一种用于纯化含有磷化氢的锗烷，以提供纯化的锗烷产品的方法和系统。本发明的一方面是制备含有低于50ppb磷化氢的纯化的锗烷产品的方法，其包括提供磷化氢污染的锗烷气体和氢气的混合物；使锗烷气体氢气混合物通过选择性吸附磷化氢的吸附剂，以及产生纯化的锗烷气体和氢气的混合物；以及从氢气锗烷气体混合物中分离纯化的锗烷气体。