用于微振动装置的连接结构
摘要:
本发明涉及一种用于微振动装置、尤其是微振动镜的连接结构,其中,所述连接结构一方面能与微振动结构并且另一方面能与弹簧元件至少间接地连接,以测量所述微振动结构的扭转,所述微振动结构包括:至少一个、尤其至少两个、优选三个平行于所述微振动结构的旋转轴线布置的臂;和至少一个另外的垂直于所述旋转轴线布置的臂,其中,所述连接结构的平行于所述旋转轴线的延伸尺寸具有所述连接结构的垂直于所述旋转轴线的延伸尺寸的至少两倍半、尤其至少三倍;和至少一个用于测量所述连接结构的扭转的电阻元件,其中,所述电阻元件布置在连接结构的在扭转时机械应力提高的区域中。
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