用于在透明衬底中制造纳米结构的方法

    公开(公告)号:CN106415328B

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201580032930.8

    申请日:2015-05-29

    发明人: S·平特

    IPC分类号: G02B1/113 G02B1/118

    摘要: 用于在透明衬底(10)中制造纳米结构(11)的方法,该方法具有如下步骤:a)以限定的厚度将第一结构载体层(20)涂覆到衬底(100)的至少一个表面上;b)将纳米结构(21)构造到第一结构载体层(20)中;和c)氧化第一结构载体层(20)。

    具有振荡件的微机械构件、用于该微机械构件的制造方法和用于激发可调节部件围绕旋转轴线的运动的方法

    公开(公告)号:CN110167871A

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201780083100.7

    申请日:2017-11-16

    IPC分类号: B81B3/00 G02B26/08 G02B26/10

    摘要: 本发明涉及一种微机械构件,所述微机械构件具有:保持件(10);可调节部件(12),该可调节部件至少通过至少一个弹簧(14a、14b、14c)与所述保持件(10)连接;和致动器装置(18),其中,所述可调节部件(12)围绕第一转动轴线(20)的第一振荡运动(Φ1)和被置于所述第一振荡运动(Φ1)中的所述可调节部件(12)围绕第二转动轴线(22)的第二振荡运动(Φ2)能借助于所述致动器装置(18)被激发;其中,所述可调节部件(12)至少借助于所述至少一个弹簧(14a、14b、14c)这样能调节地布置在所述保持件(10)上,使得所述可调节部件(12)能借助于引起的扭矩(M2)围绕垂直于所述第一转动轴线(20)且垂直于所述第二转动轴线(22)定向的旋转轴线(24)调节。本发明还涉及一种用于激发可调节部件(12)围绕旋转轴线(24)的运动的方法。

    机械部件和用于机械部件的制造方法

    公开(公告)号:CN103787265B

    公开(公告)日:2017-04-12

    申请号:CN201310756891.9

    申请日:2013-10-25

    IPC分类号: B81B7/02

    摘要: 本发明涉及一种机械部件,所述机械部件具有保持装置(50)、可调节部件(52)、第一传感器装置(64a)、第二传感器装置(64b),所述可调节部件借助至少一个第一弹簧(54a)和至少一个第二弹簧(54b)通过围绕轴线(56)可调节的方式连接,其中,所述旋转轴线(56)延伸穿过所述第一弹簧(54a)在所述保持装置(50)上的第一锚定区域(58a)和所述第二弹簧(54b)在所述保持装置(50)上的第二锚定区域(58b),所述第一传感器装置具有至少一个设置在所述第一弹簧(54a)上和/或中的第一电阻,所述第二传感器装置具有至少一个设置在所述第二弹簧(54b)上和/或中的第二电阻,其中,所述第一传感器装置(64a)包括第一惠斯登半电桥(65a)并且所述第二传感器装置(64b)包括第二惠斯登半电桥(65b),其中,所述第一惠斯登半电桥(65a)和所述第二惠斯登半电桥(65b)连接成惠斯登全电桥。本发明也涉及一种用于机械部件的制造方法。

    电极梳、微机械构件和用于电极梳或微机械构件的制造方法

    公开(公告)号:CN101990737B

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN200880128512.9

    申请日:2008-12-04

    IPC分类号: H02N1/00

    CPC分类号: H02N1/008

    摘要: 本发明涉及一种用于微机械构件的电极梳(82),该电极梳具有至少一个电极指,对于所述至少一个电极指可定义具有第一中心纵轴线(88a,90a)的第一电极指子单元(88,90)和具有第二中心纵轴线(88a,90a)的第二电极指子单元(88,90),其中,所述第二中心纵轴线(88a,90a)相对于所述第一中心纵轴线(88a,90a)以不等于0°且不等于180°的弯折角(δ)倾斜,本发明还涉及设有这种电极梳(82)的微机械构件。本发明同样涉及微机械构件。本发明此外涉及用于电极梳(82)的制造方法和用于微机械构件的制造方法。

    微机械结构元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101939252B

    公开(公告)日:2013-03-13

    申请号:CN200880126177.9

    申请日:2008-11-21

    IPC分类号: G02B26/08 B81B7/00

    摘要: 本发明涉及微机械结构元件,其包括基件、具有导电材料的偏转件和偏转件绝缘部,该偏转件绝缘部使偏转件的第一与第二区段相互电绝缘。柔性的、导电的第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接,柔性的、导电的第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。还涉及一种用于制造微机械结构元件的方法,该方法包括以下步骤:提供具有导电的覆盖层的衬底晶片,在覆盖层中蚀刻绝缘沟,该绝缘沟使覆盖层的第一区段与第二区段相互绝缘,以及由衬底晶片构成基件和包括覆盖层的第一区段和第二区段的偏转件,留下柔性的、导电的第一连接元件和柔性的、导电的第二连接元件,该第一连接元件使基件与第一偏转件区段连接,该第二连接元件使基件与第二偏转件区段连接。

    加盖的微机械构件的制造方法、相应的微机械构件以及用于微机械构件的盖板

    公开(公告)号:CN102482074A

    公开(公告)日:2012-05-30

    申请号:CN201080039064.2

    申请日:2010-08-02

    发明人: S·平特

    IPC分类号: B81C1/00

    摘要: 本发明提出用于加盖的微机械构件的制造方法,相应的微机械构件和用于微机械构件的盖板。所述方法具有如下步骤:形成具有多个穿孔(K;K’)的中间衬底(1,1’,1”;2,2’);将盖衬底(KD;KD’)层压到所述中间衬底(1,1’,1”;2,2’)的前侧(VS;VS’)上,所述盖衬底在所述前侧(VS;VS’)上封闭所述穿孔(K;K’);将MEMS功能晶片(3;3’)层压到所述中间衬底(1,1’,1”;2,2’)的背侧(RS,RS’)上;其中,使所述MEMS功能晶片(3;3’)相对于所述中间衬底(1,1’,1”;2,2’)如此定向,使得所述穿孔(K;K’)形成所述MEMS功能晶片(3;3’)的相应功能区域(FB,FB’)上方的相应空腔。

    用于微振动装置的连接结构

    公开(公告)号:CN102313986A

    公开(公告)日:2012-01-11

    申请号:CN201110133059.4

    申请日:2011-05-18

    IPC分类号: G02B26/08

    摘要: 本发明涉及一种用于微振动装置、尤其是微振动镜的连接结构,其中,所述连接结构一方面能与微振动结构并且另一方面能与弹簧元件至少间接地连接,以测量所述微振动结构的扭转,所述微振动结构包括:至少一个、尤其至少两个、优选三个平行于所述微振动结构的旋转轴线布置的臂;和至少一个另外的垂直于所述旋转轴线布置的臂,其中,所述连接结构的平行于所述旋转轴线的延伸尺寸具有所述连接结构的垂直于所述旋转轴线的延伸尺寸的至少两倍半、尤其至少三倍;和至少一个用于测量所述连接结构的扭转的电阻元件,其中,所述电阻元件布置在连接结构的在扭转时机械应力提高的区域中。