显微组件下跨尺度原位微纳米三点/四点弯曲测试装置
摘要:
本发明涉及一种显微组件下跨尺度原位微纳米三点/四点弯曲测试装置,属于机械类。包括精密驱动控制单元、具有三自由度的调整单元、传动及执行单元、信号检测单元和连接支撑单元。其中精密驱动直流伺服电机通过柔性联轴器与一级涡轮相连,一级涡轮通过涡轮蜗杆传动副与二级涡轮相连,并且二级涡轮通过涡轮蜗杆传动副分别与引导杠Ⅰ、Ⅱ相连,进而带动弯曲测试冲头完成测试动作。本发明结构紧凑,功能可靠,安装方便,便于操作,并且可以通过位移、载荷高精度控制算法对加载测试过程进行补偿并对测试数据进行修正,能够放置在体积限制的多种商业化显微测试装置中,精确进行微小尺度材料试件弯曲性能测试。
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