一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法
摘要:
本发明公开一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法,其特征在于,以高精光学玻璃元件为研究对象,在采用不同形状压头显微硬度计制作出不同压痕形状和压痕阵列图案的机械加工方法基础上,结合湿法腐蚀工艺,采用不同浓度的BOE溶液(HF和NH4F溶液的混合液)对样品进行不同时间间隔的腐蚀,从而产生出不同形状和不同高深宽比结构的高精光学玻璃微结构。
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