发明公开
CN102530841A 一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法
- 专利标题(英): Processing method of high depth-width ratio microstructure of optical glass
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申请号: CN201210014024.3申请日: 2012-01-17
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公开(公告)号: CN102530841A公开(公告)日: 2012-07-04
- 发明人: 王海容 , 关赪 , 乔智霞 , 张碧珂 , 苑国英
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 代理机构: 西安通大专利代理有限责任公司
- 代理商 朱海临
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00
摘要:
本发明公开一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法,其特征在于,以高精光学玻璃元件为研究对象,在采用不同形状压头显微硬度计制作出不同压痕形状和压痕阵列图案的机械加工方法基础上,结合湿法腐蚀工艺,采用不同浓度的BOE溶液(HF和NH4F溶液的混合液)对样品进行不同时间间隔的腐蚀,从而产生出不同形状和不同高深宽比结构的高精光学玻璃微结构。
公开/授权文献
- CN102530841B 一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法 公开/授权日:2014-09-03