公开(公告)号：CN103163154A

公开(公告)日：2013-06-19

申请号：CN201310044339.7

申请日：2013-02-04

申请人： 西安交通大学

发明人： 王海容 ,  张碧珂 ,  肖利辉 ,  苑国英

IPC分类号： G01N21/95

摘要： 本发明公开了一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法，其特征在于，用两块样品作腐蚀试验，由第一块样品获得抛光沉积层的纵向去除速率，然后对第二块样品腐蚀中即可精确获得腐蚀时间及厚度，使第二块样品亚表面微裂纹完全暴露出来，最后使用共聚焦显微镜对第二样品亚表面损伤进行快速准确的观测及计算；建立高精元件亚表面损伤微裂纹的表征参数。

公开(公告)号：CN102530841A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201210014024.3

申请日：2012-01-17

申请人： 西安交通大学

发明人： 王海容 ,  关赪 ,  乔智霞 ,  张碧珂 ,  苑国英

IPC分类号： B81C1/00

摘要： 本发明公开一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法，其特征在于，以高精光学玻璃元件为研究对象，在采用不同形状压头显微硬度计制作出不同压痕形状和压痕阵列图案的机械加工方法基础上，结合湿法腐蚀工艺，采用不同浓度的BOE溶液(HF和NH4F溶液的混合液)对样品进行不同时间间隔的腐蚀，从而产生出不同形状和不同高深宽比结构的高精光学玻璃微结构。

公开(公告)号：CN103163154B

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201310044339.7

申请日：2013-02-04

申请人： 西安交通大学

发明人： 王海容 ,  张碧珂 ,  肖利辉 ,  苑国英

IPC分类号： G01N21/95

摘要： 本发明公开了一种硬脆性高精元件亚表面损伤程度的表征方法，其特征在于，用两块样品作腐蚀试验，由第一块样品获得抛光沉积层的纵向去除速率，然后对第二块样品腐蚀中即可精确获得腐蚀时间及厚度，使第二块样品亚表面微裂纹完全暴露出来，最后使用共聚焦显微镜对第二样品亚表面损伤进行快速准确的观测及计算；建立高精元件亚表面损伤微裂纹的表征参数。

公开(公告)号：CN102530841B

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201210014024.3

申请日：2012-01-17

申请人： 西安交通大学

发明人： 王海容 ,  关赪 ,  乔智霞 ,  张碧珂 ,  苑国英

IPC分类号： B81C1/00

摘要： 本发明公开一种光学玻璃的高深宽比微结构加工方法，其特征在于，以高精光学玻璃元件为研究对象，在采用不同形状压头显微硬度计制作出不同压痕形状和压痕阵列图案的机械加工方法基础上，结合湿法腐蚀工艺，采用不同浓度的BOE溶液(HF和NH4F溶液的混合液)对样品进行不同时间间隔的腐蚀，从而产生出不同形状和不同高深宽比结构的高精光学玻璃微结构。