发明授权
- 专利标题： 行进车系统
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申请号： CN201210048074.3申请日： 2010-03-29
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公开(公告)号： CN102556664B公开(公告)日： 2015-09-30
- 发明人: 石桥希远 , 村山晋 , 和田芳幸 , 大野俊孝
- 申请人： 株式会社IHI
- 申请人地址： 日本东京都
- 专利权人： 株式会社IHI
- 当前专利权人： 株式会社IHI
- 当前专利权人地址： 日本东京都
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 朱美红; 杨楷
- 优先权： 2009-081661 2009.03.30 JP; 2009-081662 2009.03.30 JP
- 分案原申请号： 2010101455383 2010.03.29
- 主分类号： B65G49/06
- IPC分类号： B65G49/06
摘要：
本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。
公开/授权文献
- CN102556664A 行进车系统 公开/授权日：2012-07-11
IPC分类:
