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公开(公告)号：CN101850883B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201010145538.3
申请日：2010-03-29
申请人： 株式会社IHI
摘要： 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。
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公开(公告)号：CN101853799A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010145476.6
申请日：2010-03-23
申请人： 株式会社IHI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 在基板升降移送装置中，在第一基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第一姿势切换用保持构件的第一姿势切换部件，在第二基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第二姿势切换用保持构件的第二姿势切换部件，在竖立设置于第一姿势切换部件的一侧的支承框架上以能够循环行走的方式设置沿上下方向延伸的环状部件，在环状部件上在圆周方向上隔开间隔地设置多个升降用保持构件。根据该基板升降移送装置，能够充分地削减其占有平面面积，能够有效利用工厂内空间。
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公开(公告)号：CN108137258B
公开(公告)日：2019-09-27
申请号：CN201680057500.6
申请日：2016-12-15
申请人： 株式会社IHI
IPC分类号： B65H23/32 , B65H20/10 , B65H23/032
摘要： 本发明提供一种搬送带状体(W)的带状体搬送装置(1)，具备：多个非接触导引部(2、3、4)，挂绕有带状体的一部分，且以非接触的方式支撑带状体；驱动部(5、6、7)，使多个非接触导引部中的至少一个非接触导引部移动；以及控制部(10)，以使供带状体的宽度方向的第一边缘通过的路径长度与供宽度方向的第二边缘通过的路径长度不同的方式，借由驱动部使非接触导引部移动。
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公开(公告)号：CN105849020A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201580003385.X
申请日：2015-05-01
申请人： 株式会社IHI
IPC分类号： B65H23/24
CPC分类号： B65H23/24 , B65H23/32 , B65H2406/111 , B65H2515/342 , B65H2220/01 , B65H2220/02 , B65H2220/03
摘要： 本发明提供一种张力控制装置，其具备：按压构件(1)，将气体喷吹于要赋予张力的对象物(W)，藉此以非接触方式来按压所述对象物(W)；致动器(3)，可改变所述按压构件(1)的位置；压力传感器(4)，用以检测所述气体的压力；间隙传感器(5)，用以检测所述对象物(W)自所述按压构件(1)浮起的浮起量；以及控制部(6)，根据所述压力传感器(4)的检测值及所述间隙传感器(5)的检测值而控制所述致动器(3)。
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公开(公告)号：CN105849019A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201580003389.8
申请日：2015-05-22
申请人： 株式会社IHI
IPC分类号： B65H23/032 , B65H20/18
CPC分类号： B65H20/18 , B65H20/06 , B65H23/032 , B65H23/0326 , B65H23/10 , B65H35/04 , B65H35/06 , B65H2301/331 , B65H2301/4422 , B65H2301/5151 , B65H2301/51532 , B65H2406/112 , B65H2701/132
摘要： 本发明为从卷出滚轮(2)将薄形被加工物(W)送出且于搬送路径(3)上搬送之搬送装置(1)，包括：第1可动保持构件(5)，以可装卸的方式将所述薄形被加工物的前端侧的两侧端部予以保持且将其于搬送路径上搬送；固定保持构件(4)，以可装卸的方式将所述薄形被加工物的所述卷出滚轮侧的两侧端部予以保持；切断装置(6)，在所述第1可动保持构件与所述固定保持构件之间将所述薄形被加工物予以切断；第2可动保持构件(7)，在所述薄形被加工物的前端侧，以可装卸的方式将比所述第1可动保持构件所保持的所述两侧端部更靠近前端侧的两侧端部予以保持且再将其于所述搬送路径上搬送；第1位置传感器(19)，被设置在所述卷出滚轮与所述第1可动保持构件之间；以及第1补正机构，根据所述第1位置传感器的检测结果，将所述卷出滚轮的与卷出方向呈正交的方向的位置予以补正。
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公开(公告)号：CN108137257A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680057557.6
申请日：2016-12-15
申请人： 株式会社IHI
IPC分类号： B65H23/035
摘要： 一种搬送带状体(W)的带状体搬送装置(1)，具备：多个非接触导引部(2、3、4)，绕挂有带状体的一部分，且以非接触的方式支持带状体；以及驱动部(5、6、7)，从沿着供给至所述多个非接触导引部之前的所述带状体的表面的垂线的方向观看时，以同一角度使所述多个非接触导引部中的至少两个非接触导引部朝同一方向转动。
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公开(公告)号：CN105849019B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201580003389.8
申请日：2015-05-22
申请人： 株式会社IHI
IPC分类号： B65H23/032 , B65H20/18
CPC分类号： B65H20/18 , B65H20/06 , B65H23/032 , B65H23/0326 , B65H23/10 , B65H35/04 , B65H35/06 , B65H2301/331 , B65H2301/4422 , B65H2301/5151 , B65H2301/51532 , B65H2406/112 , B65H2701/132
摘要： 本发明为从卷出滚轮(2)将薄形被加工物(W)送出且于搬送路径(3)上搬送之搬送装置(1)，包括：第1可动保持构件(5)，以可装卸的方式将所述薄形被加工物的前端侧的两侧端部予以保持且将其于搬送路径上搬送；固定保持构件(4)，以可装卸的方式将所述薄形被加工物的所述卷出滚轮侧的两侧端部予以保持；切断装置(6)，在所述第1可动保持构件与所述固定保持构件之间将所述薄形被加工物予以切断；第2可动保持构件(7)，在所述薄形被加工物的前端侧，以可装卸的方式将比所述第1可动保持构件所保持的所述两侧端部更靠近前端侧的两侧端部予以保持且再将其于所述搬送路径上搬送；第1位置传感器(19)，被设置在所述卷出滚轮与所述第1可动保持构件之间；以及第1补正机构，根据所述第1位置传感器的检测结果，将所述卷出滚轮的与卷出方向呈正交的方向的位置予以补正。
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公开(公告)号：CN101853799B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201010145476.6
申请日：2010-03-23
申请人： 株式会社IHI
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 在基板升降移送装置中，在第一基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第一姿势切换用保持构件的第一姿势切换部件，在第二基板处理装置的一侧以能够绕水平的轴心摇动的方式设置具有第二姿势切换用保持构件的第二姿势切换部件，在竖立设置于第一姿势切换部件的一侧的支承框架上以能够循环行走的方式设置沿上下方向延伸的环状部件，在环状部件上在圆周方向上隔开间隔地设置多个升降用保持构件。根据该基板升降移送装置，能够充分地削减其占有平面面积，能够有效利用工厂内空间。
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