本发明提供坐标测量用测头单元及坐标测量机。坐标测量用测头单元(10)小型、廉价，能够进行高速的高精度测量，机床中的机上测量、输送线等中的现场(观察)测量容易，坐标测量用测头单元(10)具有：驱动部件(X轴驱动部14、Y轴驱动部16、Z轴驱动部18)，用于通过计算机数值控制使探头(12)沿相互正交的多个驱动轴线移动，使探头与测量对象(8)抵接来测量测量对象(8)的尺寸；一体化而成的壳体(13)，用于容纳该驱动部件(14、16、18)；安装部件(安装面20)，设置在该壳体(13)的任一侧面上，用于将上述驱动部件(14、16、18)的任一个安装在支承体(固定在基座30上的支架32上的支承件34)上。