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公开(公告)号：CN106054954B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201610214156.9
申请日：2016-04-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种探针测量力调整器，包括能够在X方向上移动的触针支撑部，其与固定部分离配置。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(+)方向上的端部，板簧的第二端固定到所述固定部，板簧的主表面面对X方向。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(‑)方向上的端部，该板簧的第二端固定到所述固定部，该板簧的主表面面对X方向。第一永磁体设置到触针支撑部的X(+)方向上的端部。第二永磁体设置到触针支撑部的X(‑)方向上的端部。第三永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第一永磁体和第三永磁体之间。第四永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第二永磁体和第四永磁体之间。
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公开(公告)号：CN106197206B
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：CN201510382532.0
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B3/008 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B5/20 , G01B11/007
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300)，其包括：触针(306)，其具有用于接触被测物体的接触部；轴运动机构(310)，其具备使接触部能够沿轴向移动的移动构件；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件，该旋转构件利用旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头包括：探头主体(302)，其用于内置轴运动机构；以及探头模块(304)，其被支承于探头主体，并用于内置旋转运动机构，并支承触针，探头主体和探头模块利用能够互相进行定位的一对辊(312F)和球(332B)以能够装卸的方式连结起来。由此，在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力。
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公开(公告)号：CN106197354A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201510382742.X
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/14
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300)，其包括：触针(306)，其具有用于接触被测物体(W)的接触部(312)，该移动构件(312)使接触部(348)能够沿轴向(O)移动；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件(RP)，该旋转构件通过旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头(300)包括：主体外壳(308)，其用于支承轴运动机构(310)；模块外壳(330)，其用于支承旋转运动机构(334)；以及位移检测器(328)，其被支承于主体外壳(308)，并用于检测移动构件(312)的位移。由此，能够保持低成本并且确保高测量精度。(348)；轴运动机构(310)，其具备移动构件
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公开(公告)号：CN106054954A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610214156.9
申请日：2016-04-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 能够在X方向上移动的触针支撑部与固定部分离配置。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(+)方向上的端部，板簧的第二端固定到所述固定部，板簧的主表面面对X方向。板簧的第一端固定到触针支撑部的X(‑)方向上的端部，该板簧的第二端固定到所述固定部，该板簧的主表面面对X方向。第一永磁体设置到触针支撑部的X(+)方向上的端部。第二永磁体设置到触针支撑部的X(‑)方向上的端部。第三永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第一永磁体和第三永磁体之间。第四永磁体设置到所述固定部，使得X方向上的磁力作用在第二永磁体和第四永磁体之间。
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公开(公告)号：CN104976980A
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201510154456.8
申请日：2015-04-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 一种形状测量机，其包括杆、臂、检测部、转动支点部和测量力调整部。与工件接触的测量触头设置于所述杆。所述臂的端部与所述杆接合。所述转动支点部用作所述杆和所述臂的转动运动的支点。所述检测部检测所述臂的转动运动的位移量。所述转动支点部的十字弹簧根据所述转动运动的位移量赋予所述杆和所述臂绕所述转动运动的轴的扭矩。测量力调整部赋予所述杆和所述臂沿所述十字弹簧产生的扭矩的相反方向的扭矩，该扭矩是由彼此相对配置的至少两个磁性构件之间的磁力产生的引力所产生的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102564368A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110294229.7
申请日：2011-09-26
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供坐标测量用测头单元及坐标测量机。坐标测量用测头单元(10)小型、廉价，能够进行高速的高精度测量，机床中的机上测量、输送线等中的现场(观察)测量容易，坐标测量用测头单元(10)具有：驱动部件(X轴驱动部14、Y轴驱动部16、Z轴驱动部18)，用于通过计算机数值控制使探头(12)沿相互正交的多个驱动轴线移动，使探头与测量对象(8)抵接来测量测量对象(8)的尺寸；一体化而成的壳体(13)，用于容纳该驱动部件(14、16、18)；安装部件(安装面20)，设置在该壳体(13)的任一侧面上，用于将上述驱动部件(14、16、18)的任一个安装在支承体(固定在基座30上的支架32上的支承件34)上。
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公开(公告)号：CN114543697A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111281482.9
申请日：2021-11-01
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供了测量设备、控制设备和控制方法。测量设备(S)包括：传感器(2)，用于测量工件；多轴机器人(1)，用于在三维空间中移动传感器(2)；位置确定部(153)，用于至少基于指示工件(W)的几何形状的设计数据或拍摄图像数据来确定i)作为沿工件(W)上的多个待测量位置中的各个待测量位置处的法线方向的位置的多个测量位置以及ii)传感器(2)在多个测量位置中的各个测量位置处的方向；移动控制部(152)，用于通过控制机器人(1)来将传感器(2)顺次移动到多个测量位置；以及测量控制部(154)，用于与多个待测量位置相关联地输出指示传感器(2)在多个测量位置中的各个测量位置处测量到的结果的测量数据。
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公开(公告)号：CN106197354B
公开(公告)日：2017-10-03
申请号：CN201510382742.X
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B11/007 , G01B11/14
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300)，其包括：触针(306)，其具有用于接触被测物体(W)的接触部(348)；轴运动机构(310)，其具备移动构件(312)，该移动构件(312)使接触部(348)能够沿轴向(O)移动；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件(RP)，该旋转构件通过旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头(300)包括：主体外壳(308)，其用于支承轴运动机构(310)；模块外壳(330)，其用于支承旋转运动机构(334)；以及位移检测器(328)，其被支承于主体外壳(308)，并用于检测移动构件(312)的位移。由此，能够保持低成本并且确保高测量精度。
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公开(公告)号：CN106197353B
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：CN201510382391.2
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
CPC classification number: G01B11/007 , G01B5/012
Abstract: 本发明涉及一种测量探头。测量探头(300)包括测针(306)、轴运动机构(310)以及旋转运动机构(334)，其中，轴运动机构(310)具备能够使移动构件(312)位移的一对第1隔膜结构体(314、315)，而且旋转运动机构(334)具备能够使旋转构件(336)位移的第2隔膜结构体(340)，在轴向(O)上的、一对第1隔膜结构体(314、315)之间配置有第2隔膜结构体(340)，第1隔膜结构体(314、315)分别相对于第2隔膜结构体(340)配置在彼此对称的距离。由此，能够实现轴向长度的缩短和轻量化，而且能够减小形状误差提升测量精度。
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公开(公告)号：CN106197206A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201510382532.0
申请日：2015-07-02
Applicant: 株式会社三丰
CPC classification number: G01B3/008 , G01B5/0016 , G01B5/012 , G01B5/20 , G01B11/007
Abstract: 本发明涉及一种测量探头(300)，其包括：触针(306)，其具有用于接触被测物体的接触部；轴运动机构(310)，其具备使接触部能够沿轴向移动的移动构件；以及旋转运动机构(334)，其具备旋转构件，该旋转构件利用旋转运动而使接触部能够沿着与轴向成直角的面移动，其中，该测量探头包括：探头主体(302)，其用于内置轴运动机构；以及探头模块(304)，其被支承于探头主体，并用于内置旋转运动机构，并支承触针，探头主体和探头模块利用能够互相进行定位的一对辊(312F)和球(332B)以能够装卸的方式连结起来。由此，在使低成本化成为可能的同时能够实现与触针对应的相应的检测灵敏度和恢复力。
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