Invention Publication
- Patent Title: 超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法
- Patent Title (English): Method for rapidly processing graphical surface of ultralong grating ruler rolling die
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Application No.: CN201110455884.6Application Date: 2011-12-30
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Publication No.: CN102566260APublication Date: 2012-07-11
- Inventor: 刘红忠 , 冯龙 , 史永胜 , 尹磊 , 蒋维涛 , 王良军 , 刘树林 , 李烜 , 杨俊 , 丁玉成 , 卢秉恒
- Applicant: 西安交通大学
- Applicant Address: 陕西省西安市咸宁西路28号
- Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee: 西安交通大学
- Current Assignee Address: 陕西省西安市咸宁西路28号
- Agency: 西安通大专利代理有限责任公司
- Agent 田洲
- Main IPC: G03F7/00
- IPC: G03F7/00 ; G03F7/20

Abstract:
本发明公开一种超长光栅尺辊压模具表面图形化的快速加工方法,包括以下步骤:1)选择辊压模具,2)辊压模具清洗,3)辊压模具表面涂胶,4)辊压模具前烘处理,5)辊压模具的固定,6)掩膜版的选取和调整,7)曝光。本发明采用曝光拼接的旋转曝光技术,将掩膜版上的光栅微结构图形转移至辊压模具表层的光刻胶上面,显影过后,辊压模具表面形成一层光栅结构图形化掩蔽层,再利用刻蚀或者电铸的方法,将此图形化掩蔽层复制到辊压模具表面上;运用此模具,可以利用辊压印或者逆辊压印的方法,将此表面的光栅微结构连续的复制的光栅尺胚上面,实现了超长光栅的连续制造。此种方法对外部环境要求较低,生产效率高,从而有效降低光栅尺的制造成本。
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